Плазменная обработка

26 товаров
в каталоге
26 доступно под заказ,
доставка возможна по всей России
Вид:
Сортировать по:
Diener Electronic
Установка плазменной обработки Zepto
Под заказ
Цена по запросу
Diener Electronic
Установка плазменной обработки Atto
Под заказ
Цена по запросу
Diener Electronic
Установка плазменной обработки Femto
Под заказ
Цена по запросу
Diener Electronic
Установка плазменной обработки Pico
Под заказ
Цена по запросу
Diener Electronic
Установка плазменной обработки Nano
Под заказ
Цена по запросу
Diener Electronic
Установка плазменной обработки Tetra
Под заказ
Цена по запросу
Diener Electronic
Установка плазменной обработки Plasmabeam
Под заказ
Цена по запросу
Diener Electronic
Оборудование «под заказ»
Под заказ
Цена по запросу

Сравнительная таблица основных характеристик

Модель Объем камеры, л Габариты камеры (наиболее популярный вариант исполнения), мм Габариты корпуса установки (Ш×В×Г), мм
Лабораторные и мелкосерийные установки
Zepto 1,7–2,6 Ø105, Г 300 425×185×450
Atto 10,5 Ø211, Г 300 425×275×450
Femto 1,9-6 Ø100, Г 270 345×220×420
Pico 4–15 Ø150, Г 320 550×330×500
Nano 18–36 Ø267, Г 420 580×650×600
Производственные установки
Tetra-30 34–57 305×300×370 600×2200×650
Tetra-100 80–100 400×400×625 600×2200×800
Tetra-150 150 400×325×600 1000×2100×1000
Tetra-Х Специальные установки нестандартных размеров изготовляются по индивидуальному заказу. Производились камеры различных форм объемом более 12 600 л

Опции и справочная информация

Сравнительная таблица различных типов генераторов плазмы

Тип генератора 40/80/100 кГц 13,56 МГц 2,45 ГГц
Примеры применения
  • Back-end (полупроводники, керамика)
  • Очистка PCB и других материалов
  • Активация, травление материалов (различные отрасли промышленности)
  • R&D
  • Front-end и back-end (полупроводники);
  • R&D

Низкая стоимость +++ + ++
Надежность +++ ++ +
Однородность плазмы +++ ++ +
Использование вращающегося металлического барабана +++ +++ +
Скорость травления + +++ +++
Простота ремонта +++ + +++

Примечание. +++ — наилучший показатель

Сравнительная таблица различных типов управления

Ручное Автоматическое (ПЛК) Автоматическое (ПК)
Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются вручную нажатием кнопок на передней панели. Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление также задаются вручную. Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются автоматически после нажатия кнопки «Старт». Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление задаются вручную при помощи ПЛК. Все действия и процессы управляются с сенсорного экрана ПК. Возможно создание и запись рецептов. Программное обеспечение позволяет вести статистику процессов. На экране в реальном времени отображаются графики изменения всех параметров текущего процесса.

Различные опции и оснастка для установок плазменной обработки

Лотки и загрузочные устройства
  • Прямоугольные лотки (алюминий, сталь, стекло, кварц)
  • Лодочки для полупроводниковых пластин (стекло, кварц)
  • Металлические поддоны и держатели для печатных плат
  • Барабаны для обработки деталей и порошков (алюминий, сталь)
Подача газа
  • Ручные расходомеры с игольчатыми клапанами
  • Аналоговые и цифровые РРГ
Насосы
  • Масляные (различного типа)
  • Сухие (мембранные, спиральные)
Датчики давления
  • Датчик Пирани
  • Баратрон на различные диапазоны давления
Комплекты ЗИП
  • Различные варианты по требованию заказчика
Аксессуары
  • Клетки Фарадея для обработки деталей
  • Емкости и системы подачи мономеров в камеру
  • Тестовые чернила для проверки качества плазменной обработки
  • Тестовая бумага для проверки качества плазменной обработки
  • Система медленного напуска камеры
  • Система медленной откачки камеры
  • Другие аксессуары по запросу