Установки серии Zepto предназначены для плазмохимической обработки небольших образцов в R&D-лабораториях и на опытных производствах. С помощью бюджетных малогабаритных установок можно проводить все основные виды плазменной обработки при минимальных затратах. Различные варианты материалов камеры и типов генераторов позволяют получить конфигурацию, идеально подходящую для конкретного применения.
Установки Zepto представляют собой компактный настольный металлический корпус, в котором расположены: вакуумная камера, выполненная из боросиликатного стекла или кварца; ВЧ-генератор 40 кГц или 13,56 МГц; газовая арматура и контроллеры. Вакуумная камера закрывается быстросъемной крышкой. Управление осуществляется аналоговыми переключателями или при помощи сенсорного дисплея. Также возможен вариант управления посредством внешнего компьютера. Основными преимуществами установок серии Zepto являются низкая стоимость и малые сроки изготовления.
Области применения
- Керамика 60×48 мм: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
- Полупроводниковые пластины до 3″: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
- R&D и исследования.
Технические характеристики установок серии Zepto
| Камера | |
|
|
| Объем камеры | 1,7–2,6 л |
| Газовая система | Игольчатые клапаны, ротаметры |
| Генератор плазмы | 40 кГц: 30 или 100 Вт |
| 13,56 МГц: 50 Вт | |
| Электрод | Одно- или многоуровневый электрод |
| Управление |
|
| Датчик давления | Пирани |
| Загрузка образцов |
|
| Вакуумный насос | Различные варианты под требования заказчика |
| Габариты (Ш×В×Г) | 425×185×450 мм |
