Установка совмещения и экспонирования AG500-A-ST

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
Оцените качество обслуживания, помогите нам стать лучше!
  • Описание

Установки совмещения и экспонирования серии AG500-A-ST позволяют работать с подложками 60х48 мм и полупроводниковыми пластинами диаметром до 12” в полностью автоматическом режиме.

Оборудование для фотолитографии серии AG500-A-ST предназначено для работы с большими партиями подложек. Загрузка подложек происходит в кассете, а подача в модуль экспонирования производится при помощи робота. Система предварительного выравнивания подложек позволяет добиваться высокой повторяемости процесса. Опционально установки оснащаются системами автоматического совмещения по обратной стороне: инфракрасной или оптической с использованием видеокамер.

Преимущества автоматических установок AG500-A-ST:

  • автоматическая кассетная загрузка;
  • автоматическое предварительное совмещение;
  • простая и быстрая смена шаблонов и типоразмеров подложек;
  • высокая равномерность освещенности вплоть до 12”;
  • увеличенное время использования шаблона за счет системы предварительного выравнивания PLF;
  • простота эксплуатации за счет полной автоматизации.

Технические характеристики


AG500-A-ST
Источник света Ультрафиолетовая лампа
Длина волны, нм 350 – 450
Мощность лампы, Вт 500 – 5000
Время жизни лампы, ч >1000
Равномерность освещения, % <±3
Режимы экспонирования Вакуумный контакт
Жесткий контакт
Мягкий контакт
Микрозазор
Разрешение, мкм Вакуумный контакт: ≤0,6
Жесткий/мягкий контакт: 1 – 2
Микрозазор: ≤5
Размер обрабатываемых подложек, мм 60x48мм, 2” – 12”
Система оптического совмещения Двупольный видеомикроскоп
Совмещение по обратной стороне (опция) ИК или оптическое с видеокамерами
Точность прямого совмещения, мкм ±1
Точность обратного совмещения (ИК или оптического), мкм
(опция)
±2
Система управления На базе ПЛК и ПК
Интерфейс Сенсорный дисплей
Тип загрузки Кассетная при помощи робота