Описание
Установки совмещения и экспонирования серии AG500-A-ST позволяют работать с подложками 60х48 мм и полупроводниковыми пластинами диаметром до 12” в полностью автоматическом режиме.
Оборудование для фотолитографии серии AG500-A-ST предназначено для работы с большими партиями подложек. Загрузка подложек происходит в кассете, а подача в модуль экспонирования производится при помощи робота. Система предварительного выравнивания подложек позволяет добиваться высокой повторяемости процесса. Опционально установки оснащаются системами автоматического совмещения по обратной стороне: инфракрасной или оптической с использованием видеокамер.
Преимущества автоматических установок AG500-A-ST:
- автоматическая кассетная загрузка;
- автоматическое предварительное совмещение;
- простая и быстрая смена шаблонов и типоразмеров подложек;
- высокая равномерность освещенности вплоть до 12”;
- увеличенное время использования шаблона за счет системы предварительного выравнивания PLF;
- простота эксплуатации за счет полной автоматизации.
Технические характеристики
| AG500-A-ST | |
|---|---|
| Источник света | Ультрафиолетовая лампа |
| Длина волны, нм | 350 – 450 |
| Мощность лампы, Вт | 500 – 5000 |
| Время жизни лампы, ч | >1000 |
| Равномерность освещения, % | <±3 |
| Режимы экспонирования |
Вакуумный контакт Жесткий контакт Мягкий контакт Микрозазор |
| Разрешение, мкм |
Вакуумный контакт: ≤0,6 Жесткий/мягкий контакт: 1 – 2 Микрозазор: ≤5 |
| Размер обрабатываемых подложек, мм | 60x48мм, 2” – 12” |
| Система оптического совмещения | Двупольный видеомикроскоп |
| Совмещение по обратной стороне (опция) | ИК или оптическое с видеокамерами |
| Точность прямого совмещения, мкм | ±1 |
|
Точность обратного совмещения (ИК или оптического), мкм (опция) |
±2 |
| Система управления | На базе ПЛК и ПК |
| Интерфейс | Сенсорный дисплей |
| Тип загрузки | Кассетная при помощи робота |
