Установки совмещения и экспонирования серии AG500-4N-SLC / AG500-6N-SLC являются надежным, гибким и бюджетным инструментом для решения практически полного спектра задач фотолитографии. Компактные, удобные в эксплуатации и обслуживании установки превосходно удовлетворят потребности опытных и пилотных производств, лабораторий и исследовательских центров. Оборудование предназначено для работы с пластинами до 100/150 мм.
Установки AG500-4N-SLC / AG500-6N-SLC представляют собой “облегченный” компактный вариант моделей AG500-4N-ST / AG500-6N-ST. Данное оборудование для фотолитографии размещается на промышленном столе, позволяет работать с пластинам 60х48 мм и круглыми пластинами до 4”/6”. Опция совмещения по обратной стороне недоступна для этой модели.
|
|
AG500-4N-SLC | AG500-6N-SLC | |
|---|---|---|---|
| Источник света | Ультрафиолетовая лампа | ||
| Длина волны, нм | 350-450 | ||
| Мощность лампы, Вт | 350/500 | 500 | |
| Время жизни лампы, ч | >1000 | ||
| Интенсивность освещения, мВт/см2 |
≥20 (365) ≥35 (405) |
≥25 (365) ≥40(405) |
|
| Равномерность освещения, % | <±3 | ||
| Диаметр эффективной освещаемой зоны, мм | >100 | >150 | |
| Режимы экспонирования | Вакуумный, жесткий или мягкий контакт, микрозазор | ||
| Разрешение, мкм |
Вакуумный контакт: <1 Жесткий/мягкий контакт: 1-2 Микрозазор: ≤5 |
||
| Размер обрабатываемых подложек, мм | 60x48, 50,75,100 (другой размер под заказ) | 60x48, 50,75,100,150 (другой размер под заказ) | |
| Максимальный размер фотошаблона, мм2 | До 127х127 | До 178х178 | |
| Максимальный зазор, мкм | 1000 | ||
| Шаг выставления зазора, мкм | 1 | ||
| Система оптического совмещения | Двупольный видеомикроскоп | ||
| Совмещение по обратной стороне | Не предусмотрено | ||
| Точность прямого совмещения, мкм | ±1 | ||
| Система управления | Полностью ручная | ||
| Виброизоляция | Опция | ||
| Габариты (ШхГхВ), мм | ~750х750х1200 | ||
Есть в наличии на складе в Санкт-Петербурге!
Подробности у наших менеджеров.
