Полуавтоматическая установка четырехзондового измерения сопротивления и температурного коэффициента сопротивления (ТКС) RT-3000/RG-2000TCR

Полуавтоматическая установка четырехзондового измерения сопротивления и температурного коэффициента сопротивления (ТКС) RT-3000/RG-2000TCR

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
Оцените качество обслуживания, помогите нам стать лучше!
  • Описание

Установка измерения сопротивления RT-3000/RG-2000TCR оснащается автоматическим зондом и автоматизированным подложкодержателем. Измерения производятся в полном соответствии со стандартами ASTM. Загрузка пластин осуществляется вручную. Максимальный диаметр обрабатываемых пластин составляет 200 мм.

Оборудование поставляется в комплекте с ПК и специализированным программным обеспечением для проведения измерений. Контроль температуры осуществляется как для самого подложкодержателя, так и для четырехзондовой головки (во время контакта с пластиной). Программное обеспечение позволяет программировать профиль нагрева стола в диапазоне 20 - 100˚С с разрешением 0.1˚С. Имеется функция картографирования пластины с заданием до 1225 точек (задание круглых, квадратных, произвольных карт), создания 2D/3D карт поверхности на основании результатов измерений, построения графика зависимости поверхностного сопротивления от температуры.

Устройство может работать в следующих режимах измерений: поверхностное сопротивление (Sheet), плоские резы с известной толщиной (SLICE), отношение V/I (электрическое сопротивление), удельное электрическое сопротивление (BULK).

В установку RT-3000/RG-2000TCR встроена автоматическая функция, способная изменять диапазон измерений и проверять корректности работы. Кроме того, с помощью данного устройства можно проводить коррекцию кремниевых образцов по заданным параметрам толщины и температуры.

Благодаря тому, что оборудование просто в эксплуатации, производит измерения показателей в соответствии со стандартами международной организации ASTM, имеет обширный спектр рабочих материалов и вместительные габариты, ее активно используют не только на мелкосерийном производстве, но и в научно-исследовательской деятельности.

Доступны тестовые измерения образцов в лаборатории производителя.

Измеряемые материалы:

  • Полупроводниковые материалы, материалы солнечных элементов (Si, poly-Si, SiC и т.д.)
  • Наноматериалы (углеродные нанотрубки, DLC, графен, серебряные нанопроволоки и т.д.)
  • Тонкие проводящие пленки (металл, ITO, IZO т.д.)
  • Эпитаксиальные слои, легированные образцы

Особенности:

  • Измерение сопротивления в зависимости от температуры образца
  • Измерения по стандартам международной организации ASTM (SEMI)
  • Вместительный дизайн и простота эксплуатации
  • Возможность работы с пластинами диаметром до 200 мм (опционально до 300 мм)
  • Возможность работы с квадратными и прямоугольными подложками
  • Возможность построения 2D/3D карт сопротивления, работа по рецептам
  • Доступна конфигурация без нагрева образца (модель RT-3000/RG-2000)

Технические характеристики:

Метод измерений DC 4-point
ASTM F 84-99(SEMI MF84), ASTM F 374-00a, ASTM F 390-11, ASTM F 1529-97
Материал образца Si, GaAs, poly-Si, SiC и др.
Размер образца Пластины диаметром 50 - 200 мм
Прямоугольные подложки до 156х156 мм
Разрешение стола по осям XYZ
Разрешение стола по углу
± 0.1мм
0.1°
Диапазон задания температуры 20 - 100˚С, разрешение 0.1˚С (программируемый нагрев)
Диапазон измерения поверхностного сопротивления 1 мΩ/□ – 10 МΩ/□ (опция 10 мΩ/□ – 1 ГΩ/□)
Диапазон измерения удельного сопротивления 100мкΩ∙см – 1 МΩ∙см
Диапазон измерения отношения V/I 1мΩ – 3 МΩ (опция 10 мΩ – 250 МΩ)
Время измерения в одной точке Не более 2 сек
Воспроизводимость
Точность
≤ 0.2%
< 1%
Материал зонда Карбид вольфрама (Осмий по запросу):
- расстояние между иглами: 1 мм (по запросу 0.500 – 1.591 мм)
- радиус скругления: 40мкм (по запросу 25 – 500мкм)
- усилие прижима: 200г (по запросу 10 – 250г)
Управление - ПК + специализированное ПО с заданием карты измерений (макс. 1225 точек с разрешением 0.01мм)
- Быстрые карты (ASTM 1, 5, 9, 17 точек)
- TFT-монитор, OS Windows 10 (Eng)
- SPC функция
- 3 уровня доступа (оператор, наладчик, технолог)
Функция самопроверки корректности работы Наличие
Габаритные размеры (ДхШхВ) 1050х800х800 мм
Вес 140кг
Питание 220В, 50 Гц
CDA 0.5 Мпа, 20 л/мин (трубка 6 мм)
Вакуум -86 кПа, 10 л/мин (трубка 6 мм)

Обращаясь в нашу компанию, Вы гарантированно получите высокоточные приборы и оборудование для микроэлектроники, а также квалифицированную техническую поддержку, проверку и калибровку средств измерений от специалистов «Диполь».