Полуавтоматическая установка бесконтактного измерения удельного сопротивления NC-80Map

Полуавтоматическая установка бесконтактного измерения удельного сопротивления NC-80Map

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание

Измерения в данной установке реализованы на основе вихревых токов, возникающих в образце при помещении его в переменное магнитное поле. Измерения осуществляются полностью в автоматическом режиме, с заданием до 217 точек на поверхности и последующим формированием 2D/3D карты измерений. Возможна работа с круглыми подложками диаметром от 50 до 200 мм. Загрузка подложек осуществляется вручную. Возможность установки до 3 измерительных головок, позволяет покрыть большой диапазон измеряемых значений. Широкий спектр рабочих материалов, точность измерений в соответствии со стандартами ASTM, компактный дизайн, простота использования, автоматизация, позволяют использовать данную установку как в научно-исследовательских целях, так и на крупносерийном производстве.


Область применения:
  • Полупроводниковые материалы, материалы солнечных элементов (Si, poly-Si, SiC и т.д.)
  • Наноматериалы (углеродные нанотрубки, DLC, графен, серебряные нанопроволоки и т.д.)
  • Тонкие проводящие пленки (металл, ITO, IZO т.д.)
  • Эпитаксиальные слои, легированные образцы
  • Сложные полупроводниковые материалы (GaAs, GaN, InP, GaSb и т.д.)

Технические характеристики:

Режим работы Автоматический
Управление Специализированное ПО и ПК
Размер образца Ø50 – 200 мм
Опция до 300 мм
Количество измерительных головок До 3
Функция 2D/3D картографирования Наличие
Диапазон измерения поверхностного сопротивления [Rs], в зависимости от измерительной головки 0,005 – 0,01 Ом/□
0,01 – 0,5 Ом/□
0,5 – 10 Ом/□
10 – 1000 Ом/□
1000 – 3200 Ом/□
Диапазон измерения удельного сопротивления [R], в зависимости от измерительной головки 0,001 – 0,05 Ом∙см
0,05 – 0,5 Ом∙см
0,5 – 60 Ом∙см
60 – 200 Ом∙см