Exacta Coat — полностью автоматическая настольная трехосевая система спрей-нанесения покрытий, специально разработанная для нанесения фоторезиста на подложки, в том числе с развитым рельефом (3D-структуры, глубокие колодцы). В данной системе используются уникальные ультразвуковые головки разных типов, которые позволяют подобрать оптимальные параметры технологического процесса.
Три основных типа головок для установки Exacta Coat:
- Головка AccuMist. Создает узкий, немного выгнутый факел распыления шириной 2-6мм.
- Головка Vortex . Создает широкий конический факел распыления шириной 40-70мм.
-Головка Impact. Создает широкий веерообразный факел распыления шириной 13-70мм.
В зависимости от задач и типа образцов, установка Exacta Coat может работать в режиме поштучной или групповой обработки. В варианте со специальной оснасткой для групповой обработки установка может использоваться для работы с партией образцов, размещаемых в рабочей области до 400х400мм (в зависимости от типа УЗ головки и параметров процесса). При этом достигается высокая производительность и повторяемость результата. Для специальных производственных задач установка может оснащаться проходным конвейером.
Образцы закрепляются в рабочей области установки механически или при помощи вакуумного прижима. Для установок серии Exacta Coat предусмотрена возможность нагрева рабочего столика до +150°С, что позволяет значительно расширить технологическое окно при работе с различными типами фоторезиста.
Применения:Полупроводниковые пластины до 12”
- Индивидуальная или групповая обработка
- Нанесение слоев ФР высокой равномерности
- Нанесение на структуры с рельефом, мезы
- Индивидуальная или групповая обработка
- Нанесение слоев ФР высокой равномерности
- Работа с отечественными ФР
- Нанесение на структуры с рельефом
- Заполнение отверстий
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
| Рабочая область, мм |
до 400х400х100 (в зависимости от выбранного рабочего стола и типа УЗ головки), опционально вакуумный прижим, нагрев до 150°C |
|
Ширина факела нанесения, мм (зависит от типа головки) |
2–70 |
| Неравномерность нанесения, % | Лучше ±3 |
| Максимальная масса загружаемого образца, кг | 11,4 |
| Управление | ПК на базе Windows |
| Электропитание | 220 В/50 Гц |
| Сжатый воздух | Сухой, безмасляный, давление 5,5 бар |
| Габариты (ШхВхГ), мм | 950х850х800 |
Есть в наличии на складе в Санкт-Петербурге!
Подробности у наших менеджеров.
