Санкт-Петербург
Москва
Екатеринбург
Н.Новгород
Новое в фотолитографии

Новое в фотолитографии

7 Октября 2016

В офисе компании «Диполь» в Санкт-Петербурге состоялся двухдневный практический семинар «Современные решения в фотолитографии».

рис 1.jpg

Семинар, подготовленный специалистами направления «Микроэлектроника «Диполя», собрал более 50 технологов и профессионалов отрасли, представляющих в основном предприятия радиоэлектронной промышленности и исследовательские институты Москвы, Санкт-Петербурга, Нижнего Новгорода, Томска и других городов.
Мероприятие было посвящено технологиям и оборудованию для фотолитографии, применяемым в современных лабораториях и на производствах. В теоретической части встречи слушателям были представлены технологические особенности ключевых процессов фотолитографии, таких как очистка и подготовка подложек, нанесение фоторезиста, совмещение и экспонирование. Особенно подробно рассматривались наиболее эффективные современные технологические решения, в том числе плазменная обработка поверхности, спрей-нанесение фоторезиста, безмасковая оптическая литография. В практической части семинара демонстрировалось технологическое оборудование: установка плазменной обработки с различными генераторами газа; центрифуга, термоплита и оснастка для работы с фоторезистом.
Организаторы семинара выражают благодарность всем его гостям и приглашают всех желающих специалистов принять участие в следующих образовательных мероприятиях компании. Информацию о них можно найти на сайте компании «Диполь» в разделе «Знания».