Semilab и ведущие технологические университеты мира исследовали оптические свойства перспективных материалов для фотонных интегральных схем

Semilab и ведущие технологические университеты мира исследовали оптические свойства перспективных материалов для фотонных интегральных схем

26 Ноября 2019

Semilab и ведущие технологические университеты мира исследовали оптические свойства перспективных материалов для фотонных интегральных схем

Партнер компании «Диполь» в области контрольно-измерительного оборудования для микроэлектроники, компания Semilab (Венгрия), в сотрудничестве с Массачусетским технологическим университетом (MIT, США), Гарвардским университетом (Harvard University, США), китайским университетом XJTU (Xi'an Jiaotong University, Китай), опубликовали совместную научно-исследовательскую статью в научном журнале Applied Physics Letters о полезных оптических свойствах дисульфидов переходных металлов в диапазоне ближнего инфракрасного спектра (Near-infrared spectra), с применением метода спектральной эллипсометрии.

В опубликованной статье были исследованы оптические свойства потенциальных материалов с фазовым переходом, которые могут использоваться в производстве фотонных интегральных схем (англ. Photonic Integrated Circuits), в широком спектральном диапазоне. Были определены комплексные оптические постоянные для таких дихалькогенидов переходных металлов (англ. Transition metal dichalcogenides - TMDs) как MoS2 (дисульфид молибдена), TiS2 (дисульфид титана) и ZrS2 (дисульфид циркония) с использованием метода спектральной эллипсометрии в диапазоне от видимого до ближнего ИК-спектра.

Стоит отметить, что в качестве инструмента измерений использовался спектральный эллипсометр SE-2000 (Semilab, Венгрия).

Спектральный эллипсометр Semilab SE-2000
Спектральный эллипсометр Semilab SE-2000

С полным текстом научной статьи можно ознакомиться по ссылке:
Near-infrared optical properties and proposed phase-change usefulness of transition metal disulfides
https://aip.scitation.org/doi/full/10.1063/1.5124224

Товаров в сравнении: 0