Современные метрологические решения в микроэлектронике

Современные метрологические решения в микроэлектронике

01 ноября 2017, Москва

Компания «Диполь» продолжает цикл информационно-технических семинаров, посвящённых новым технологиям и эффективным производственным решениям для специалистов электронной промышленности. На этот раз мы приглашаем посетить бесплатный практический семинар «Современные метрологические решения в микроэлектронике», который состоится 01 ноября 2017 года в офисе компании «Диполь» в г. Москва.

 О Семинаре

    Компания «Диполь» организует 01 ноября 2017 года практический семинар «Современные метрологические решения в микроэлектронике», посвященный технологиям и контрольно-измерительному оборудованию, применяемым в современных лабораториях и на производствах.

В теоретической части семинара вниманию слушателей будут представлены презентации, раскрывающие различные виды контактных и бесконтактных измерений на этапе входного контроля подложек, межоперационного 2D/3D контроля структур после операций нанесения и травления, особенности метода эллипсометрии и типы эллипсометров.

Основное время будет уделено рассмотрению наиболее эффективных метрологических решений для измерения сопротивления, геометрических параметров пластин, толщины и оптических свойств многослойных структур, измерения размеров структур с высоким аспектным соотношением, топографии поверхности, контроля деформации плат под термической нагрузкой.

В ходе практической части семинара будет продемонстрировано измерительное оборудование: Оптический профилометр МИИ-4-USB-100 на базе микроинтерферометра МИИ-4.

 

Программа семинара:

Приветственное слово. Презентация компании «Диполь».

1.    Входной контроль подложек

  • Измерение удельного и поверхностного сопротивления контактным и бесконтактным методом;

  • Измерение типа проводимости бесконтактным методом 

  • Измерение геометрических параметров пластин и подложек бесконтактным методом.

2. Межоперационный контроль структур после операций нанесения (ф/р, диэлектрики, металлы) и травления:

  • Оптические методы измерения микрорельефа (интерферометрия, конфокальные методы, проекция полос) бесконтактным методом;

  • Микроинтерферометр Линника МИИ-4/МИИ-4М и его модернизация;

  • Измерение канавок с высоким аспектным соотношением, 3D топография поверхности и контроль деформации плат под термической нагрузкой.

3. Типы эллипсометров и основные применения в микроэлектронике

4. Демонстрация измерительного оборудования:

  • Оптический профилометр МИИ-4-USB-100 на базе микроинтерферометра МИИ-4

Участие в семинаре бесплатное, обязательна предварительная запись.


Контактные лица для регистрации:

Юфа Елена, Высоцкая Анастасия

Тел/факс: +7 (812) 702-12-66

E-mail: events@dipaul.ru


Место и время проведения:

Дата: 01 ноября 2017 года

Регистрация с 9.30. Начало семинара: 10.00

127254, РФ, Москва, Огородный пр., д. 20, стр. 1

Демонстрационный зал компании Диполь