Установки электронно-лучевого напыления EB-450 и E-400L

Добавить к сравнению

Склад: сроки постави по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Установка электронно-лучевого напыления EB-450 специально разработана для мелко- и среднесерийных производств. Установка позволяет получать тонкие пленки широкого спектра металлов (Al, Au, Cr, Cu, Vn, Ni, Ti и др.), диэлектриков и полупроводниковых материалов. Установка может быть легко сконфигурирована под требуемые задачи при работе с пластинами 60 х 48 мм или 2” – 8”, обеспечивает хорошую повторяемость результатов при осаждении одно- и многослойных пленок. Равномерность нанесения материалов типично составляет ≤3%. Компактный корпус машины может быть легко размещен в условиях недостатка площадей, конструкция корпуса позволяет разместить установку через стену ЧПП.

В отличие от однокамерной конфигурации в установке EB-450, установка E-400-L выполняется в двухкамерной конфигурации. Нижняя камера выполняет функцию изоляции электронно-лучевого испарителя, а верхняя камера используется для загрузки образцов. Таким образом, материал для испарения всегда остается в вакуумной камере даже в процессе загрузки образцов. Размер верхней камеры может изменяться в зависимости от размера и количества подложек. Верхняя и нижняя камеры разделены высоковакуумным шибером.

Обе установки опционально оснащаются различными типами насосов, ИК-нагревателями, ионным источником для очистки или ассистирования. Возможно исполнение установок с вакуумным шлюзом.

Технические характеристики

Диаметр держателя подложек  До 350 мм, или специальный по ТЗ
Размер подложек  60 х 48 мм или 2” – 8”
Система откачки  Сухой спиральный насос + турбомолекулярный насос или крионасос
Предельное давление  10-7 Торр
Типичная скорость откачки камеры  10-6 Торр за 30 мин.
Скорость вращения подложки  5 – 30 об./мин.
Равномерность по толщине  ±3%, зависит от конфигурации
Мощность электронного луча 6 кВт
Число и размер тиглей 1 – 6 шт. / 7 – 25 см3
Система управления ПЛК/ПЛК+ПК
Отслеживание толщины  Кварцевый толщиномер
Смотровое окно  Есть
Сменные экраны для вакуумной камеры Есть
Опции Система нагрева
Система охлаждения
Ионный источник для очистки или ассистирования
Вакуумный шлюз
Другие опции под заказ