Установка термического напыления TH-mini

Добавить к сравнению

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Установка термического напыления TH-mini специально разработана для использования в R&D лабораториях и на пилотных производствах. Установка проста в эксплуатации и универсальна, обеспечивает хорошую повторяемость результатов при осаждении одно- и многослойных пленок.

Технические характеристики:

Габариты камеры Ø350 мм, высота 440 мм
Размер вольфрамовой лодочки 100 х 10 мм (2 шт. в комплекте)
Размер подложек 3”
Подогрев подложек До 320°C
Скорость вращение подложки 5 – 30 об./мин.
Равномерность по толщине ≤ ±5%
Предельное давление 10-7 Торр
Система управления ПЛК
Отслеживание толщины Время или кварцевый толщиномер
Смотровое окно Есть
Опции Система нагрева
Система охлаждения
Другие опции под заказ