Установка термического напыления TH-450

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Установка термического напыления TH-450 специально разработана для мелко- и среднесерийных производств. Установка позволяет получать тонкие пленки широкого спектра металлов (Al, Au, Cr, Cu, Vn, Ni, Ti и др.), диэлектриков и полупроводниковых материалов. Установка может быть легко сконфигурирована под требуемые задачи при работе с пластинами 60 х 48 мм или 2” – 8”, обеспечивает хорошую повторяемость результатов при осаждении одно- и многослойных пленок. Равномерность нанесения материалов типично составляет ≤3%. Компактный корпус машины может быть легко размещен в условиях недостатка площадей, конструкция корпуса позволяет разместить установку через стену ЧПП.

Технические характеристики

Диаметр держателя подложек  До 350 мм, или специальный по ТЗ
Размер подложек  60 х 48 мм или 2” – 8”
Система откачки  Сухой спиральный насос + турбомолекулярный насос или крионасос
Предельное давление  10-7 Торр
Типичная скорость откачки камеры  10-6 Торр за 30 мин.
Скорость вращения подложки  5 – 30 об./мин.
Равномерность по толщине  ±3%, зависит от конфигурации
Мощность источника питания 3 кВт
Число лодочек 1 – 4 шт.
Система управления ПЛК/ПЛК+ПК
Отслеживание толщины  Кварцевый толщиномер
Смотровое окно  Есть
Сменные экраны для вакуумной камеры Есть
Опции Система нагрева до +300°С
Система охлаждения
Ионный источник для очистки или ассистирования
Вакуумный шлюз
Другие опции под заказ