Установка магнетронного напыления SP-mini

Склад: сроки поставки по запросу

Сравнить

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Установка магнетронного напыления SP-mini предназначена для использования в R&D лабораториях и на пилотных производствах. Управление установкой осуществляется при помощи ПКЛ с сенсорным дисплеем. 

Технические характеристики:

Направление распыления катода Сверху вниз
Количество магнетронов До 3 шт.
Диаметр магнетронов До 4”
Диаметр подложек 2-4”
Подогрев подложки До 250°C
Скорость вращения подложки 5-30 об./мин.
Равномерность по толщине ≤ ±5%
Предельное давление 10-7 Торр
Контроль давления Автоматический
Система управления ПЛК
Отслеживание толщины Время или кварцевый толщиномер
Смотровое окно Есть
Опции Система нагрева
Система охлаждения
Другие опции под заказ


Цена на сайте не является публичной офертой. Описание оборудования носит информационный характер и может отличаться от описания, представленного в технической документации производителя. Конечную стоимость и технические характеристики оборудования уточняйте у наших менеджеров.
Товаров в сравнении: 0