Установка магнетронного напыления SP-mini

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Установка магнетронного напыления SP-mini предназначена для использования в R&D лабораториях и на пилотных производствах. Управление установкой осуществляется при помощи ПКЛ с сенсорным дисплеем. 

Технические характеристики:

Направление распыления катода Сверху вниз
Количество магнетронов До 3 шт.
Диаметр магнетронов До 4”
Диаметр подложек 2-4”
Подогрев подложки До 250°C
Скорость вращения подложки 5-30 об./мин.
Равномерность по толщине ≤ ±5%
Предельное давление 10-7 Торр
Контроль давления Автоматический
Система управления ПЛК
Отслеживание толщины Время или кварцевый толщиномер
Смотровое окно Есть
Опции Система нагрева
Система охлаждения
Другие опции под заказ