Установка магнетронного напыления SP-compact

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание

Малогабаритная установка магнетронного напыления SP-compact представляет собой упрощенный вариант установки SP-203. Установка рассчитана на один образец диаметром до 3” или одну подложку 60х48 мм. Установка оснащается одним магнетроном и специальными держателями для одной, двух или трех мишеней по выбору заказчика и наиболее подходит для R&D задач.

Технические характеристики

Диаметр держателя подложек, мм До 75, или специальный по ТЗ
Размер подложек, мм 60х48 (или 2–3”)
Количество, шт. 1
Диаметр магнетронов, дюйм 2–3
Тип блоков питания DC или RF
Нагрев образцов Опция
Система откачки Сухой спиральный насос + турбомолекулярный насос
Предельное давление 10-7 Торр
Контроль давления Автоматический
Скорость вращения подложки, об./мин. 5–30
Равномерность по толщине ±3%, зависит от конфигурации
Система управления ПЛК
Отслеживание толщины Время или кварцевый толщиномер
Смотровое окно Есть
Опции Система нагрева 
Система охлаждения 
Другие опции под заказ