Установка магнетронного напыления SP-compact

Склад: сроки поставки по запросу

Сравнить

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание

Малогабаритная установка магнетронного напыления SP-compact представляет собой упрощенный вариант установки SP-203. Установка рассчитана на один образец диаметром до 3” или одну подложку 60х48 мм. Установка оснащается одним магнетроном и специальными держателями для одной, двух или трех мишеней по выбору заказчика и наиболее подходит для R&D задач.

Технические характеристики

Диаметр держателя подложек, мм До 75, или специальный по ТЗ
Размер подложек, мм 60х48 (или 2–3”)
Количество, шт. 1
Диаметр магнетронов, дюйм 2–3
Тип блоков питания DC или RF
Нагрев образцов Опция
Система откачки Сухой спиральный насос + турбомолекулярный насос
Предельное давление 10-7 Торр
Контроль давления Автоматический
Скорость вращения подложки, об./мин. 5–30
Равномерность по толщине ±3%, зависит от конфигурации
Система управления ПЛК
Отслеживание толщины Время или кварцевый толщиномер
Смотровое окно Есть
Опции Система нагрева 
Система охлаждения 
Другие опции под заказ


Цена на сайте не является публичной офертой. Описание оборудования носит информационный характер и может отличаться от описания, представленного в технической документации производителя. Конечную стоимость и технические характеристики оборудования уточняйте у наших менеджеров.
Товаров в сравнении: 0