Установка совмещения и экспонирования AG500-4N-SLC / AG500-6N-SLC

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
Оцените качество обслуживания, помогите нам стать лучше!
  • Описание

Установки совмещения и экспонирования серии AG500-4N-SLC / AG500-6N-SLC являются надежным, гибким и бюджетным инструментом для решения практически полного спектра задач фотолитографии. Компактные, удобные в эксплуатации и обслуживании установки превосходно удовлетворят потребности опытных и пилотных производств, лабораторий и исследовательских центров. Оборудование предназначено для работы с пластинами до 100/150 мм.

Установки AG500-4N-SLC / AG500-6N-SLC представляют собой “облегченный” компактный вариант моделей AG500-4N-ST / AG500-6N-ST. Данное оборудование для фотолитографии размещается на промышленном столе, позволяет работать с пластинам 60х48 мм и круглыми пластинами до 4”/6”. Опция совмещения по обратной стороне недоступна для этой модели.


AG500-4N-SLC AG500-6N-SLC
Источник света Ультрафиолетовая лампа
Длина волны, нм 350-450
Мощность лампы, Вт 350/500 500
Время жизни лампы, ч >1000
Интенсивность освещения, мВт/см2 ≥20 (365)
≥35 (405)
≥25 (365)
≥40(405)
Равномерность освещения, % <±3
Диаметр эффективной освещаемой зоны, мм >100 >150
Режимы экспонирования Вакуумный, жесткий или мягкий контакт, микрозазор
Разрешение, мкм Вакуумный контакт: <1
Жесткий/мягкий контакт: 1-2
Микрозазор: ≤5
Размер обрабатываемых подложек, мм 60x48, 50,75,100 (другой размер под заказ) 60x48, 50,75,100,150 (другой размер под заказ)
Максимальный размер фотошаблона, мм2 До 127х127 До 178х178
Максимальный зазор, мкм 1000
Шаг выставления зазора, мкм 1
Система оптического совмещения Двупольный видеомикроскоп
Совмещение по обратной стороне Не предусмотрено
Точность прямого совмещения, мкм ±1
Система управления Полностью ручная
Виброизоляция Опция
Габариты (ШхГхВ), мм ~750х750х1200

Есть в наличии на складе в Санкт-Петербурге!
Подробности у наших менеджеров.