Описание
Установка JFP Microtechnic S-200 предназначена для скрайбирования алмазным инструментом и разделения полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм из таких материалов, как кремний, GaAs, сапфир, Al2O3 и тонкие стекла. Вертикальное позиционирование выполняется с помощью видеосистемы, включающей в себя электронное перекрестие. Установка проста в управлении даже для начинающих пользователей.
Рабочая головка:
Показать еще
Рабочая головка:
- возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота;
- возможность регулировки алмазного инструмента по углу и повороту, смещение инструмента с помощью перекрестия
- вакуумный прижим;
- адаптер для рамок и пялец с пластинами;
- моторизированное вращение стола: постоянное или под заданным углом;
- режим настройки положения вращения по двум точкам;
- постепенное перемещение при помощи джойстика.
- оптическая система с увеличением, соответствующим применению;
- совмещение: программируемая область/вручную;
- 17” монитор и цветная CCD-камера высокого разрешения;
- генератор перекрестия;
- светодиодная подсветка (вертикальная и боковая).
Технические характеристики
| Регулируемая сила резки, г | 10–300, постоянный вес |
| Держатель подложек, дюйм | до 8 |
| Разрешение при вращении, шаг/об. | 500 000 |
| Разрешение перемещения, мкм | 1 |
| Точность перемещения, мкм | ± 5 |
| Поле обзора, мм | 1 (станд.) |
| Скорость скрайбирования по Y, мм/с | 1–100 |
| Электропитание | 100/230 В AC, 50 Вт |
| Пневмопитание | 70 psi |
| Габаритные размеры, мм | 450x700x500 |
| Вес, кг | 80 |
