Специализированная установка MR 200 служит для скрайбирования полупроводниковых пластин из кремния, GaAs и других материалов диаметром до 200 мм. Процесс скрайбирования выполняется алмазным резцом в ручном режиме. Посредством ручного управления стола в направлении Х/Y, линия скрайбирования устанавливается на контрольные метки или структуры на образце. Высококачественный микроскоп c зуммированием и LED освещением позволяет быстро менять поле обзора и проводить детальное инспектирование образца. Наличие прецизионной регулировки стола по осям X/Y, позволяет точно располагать подложку во время процесса скрайбирования. Перекрестие в окуляре микроскопа позволяет четко определить точку касания резца на подложке. Опускание и подъем резца управляется педальным переключателем. Наличие простой и надежной конструкции позволяет использовать установку MR 200 как в научно-исследовательских лабораториях, так и на мелкосерийном производстве.
Опционально доступна система цветного видеоизображения, которая включает ПК, видеокамеру и адаптер для подключения.
Технические характеристики установки MR200
| Рабочий стол | - Вакуумный держатель Ø200мм (крепится поверх стандартного держателя) - Точная регулировка угла поворота (минимальное разрешение 10 мкм = 0,006˚, максимальный диапазон регулировки ~4°) |
| Минимальный размер образца | 10х10 мм |
| Диапазон перемещения рабочего стола по осям X/Y Вращения рабочего стола |
200x200 мм (точная и грубая регулировка) На 90˚ с фиксацией в крайних положениях |
| Диапазон точной регулировки по: Оси Х Оси Y |
0 – 25 мм 0 – 10 мм |
| Диапазон усилия скрайбирования | 10 – 120 г (регулируется) |
| Регулировка режимов скрайбирования | Угол наклона резца, сила прижима резца, точки опускания и подъема резца |
| Микроскоп Диапазон увеличения микроскопа Разрешение оптики |
Наличие перекрестия в окулярах 8х – 40х 10 мкм |
| Габаритные размеры (ДхШхВ) | 400×800×600 мм |
| Вес | ~20 кг |
| Дополнительные опции | - система цветного видеоизображения |
