Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического травления

Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического травления

Добавить к сравнению

Склад: сроки постави по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Характеристика\
Модель
Тип
загрузки
Область загрузки (диаметр, мм) Тип
плазмы
Травление
материалов
Advanced Vacuum Vision 320 RIE Открытая / Бокс 305 RIE SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды
Advanced Vacuum Vision 322 PE/RIE Открытая / Бокс 305 PE/RIE SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, Al, Cu, Ti, резисты, полиимиды
Advanced Vacuum Vision 420 RIE Открытая 406 RIE SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды
Advanced Vacuum Apex SLR ICP Шлюз 200 RIE-ICP GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды
Plasma-Therm VersalineR RIE Шлюз/ кассетная/ кластер 200 RIE SiO2, SiNx, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды
Plasma-Therm Versaline RIE-ICP Шлюз/ кассетная/ кластер 200 RIE-ICP GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды
Plasma-Therm Versaline DSE Шлюз/ кассетная/ кластер 200 ICP Глубокое травление кремния