Установка плазмохимического травления Vision 320 RIE

Сравнить

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Vision 320 RIE компании Advanced Vacuum — это компактная, надежная, технологически гибкая и простая в эксплуатации и обслуживании установка плазмохимического и реактивного ионного травления для R&D-лабораторий и мелкосерийных производств.

Установка Vision 320 RIE позволяет травить следующие виды материалов:

  • Диэлектрики: оксиды, нитриды.
  • Полупроводниковые материалы: кремний, германий, материалы группы AIIIBV — GaAs, GaN, InP, InGaAs и другие.
  • Полимеры: резисты, полиимиды.

Ключевые преимущества установки Vision 320 RIE:

  • Большая область загрузки — круглый стол диаметром 305 мм, который позволяет обрабатывать подложки разных форм и размеров.
  • Равномерность травления по толщине и воспроизводимость результатов от пластины к пластине — лучше ±3%.
  • В комплекте с установкой поставляется библиотека стандартных технологических процессов, которые гарантируются производителем.
  • Простой, интуитивно понятный интерфейс.
  • История аварийный сообщений, контроль рецептов в процессе работы — вывод данных о процессе на дисплей в режиме реального времени.
  • Программное обеспечение позволяет записывать параметры процессов для дальнейшего анализа.
  • Многоуровневый доступ пользователей.
  • Возможность удаленного управления и контроля состояния системы.
  • Наличие различных вариантов системы отслеживания окончания процесса (OES, OEI, LEPD).
  • Современная архитектура на основе ПЛК и DeviceNet: безопасная работа, легкая диагностика и минимальное количество проводов.
  • Простота использования и обслуживания.
  • Малая занимаемая площадь <0,7 м2.
  • Возможность установки через стену чистого производственного помещения.
  • Опциональное оснащение боксом для работы с токсичными и коррозионными газами.
  • Возможность изготовления опций и оснастки «под заказ».

Основные технические характеристики установки Vision 320 RIE

Размер электрода 12″ (305 мм) в диаметре
Температура электрода Определяется типом процесса. Используется чиллер. Стандартно +5...45 °С, доступны другие варианты
Материал электрода Алюминий с графитовым покрытием. Опционально доступны другие материалы
Тип плазмы Емкостная
ВЧ-генератор 600 Вт, 13,56 МГц
Вакуумная камера Изготовлена из цельного блока алюминия. Опциональная внешняя система прогрева
Откачная система Форвакуумный насос 40–100 м3/ч, масляный или безмасляный
Турбомолекулярный насос 250–350 л/с с керамическими подшипниками
Возможна установка других насосов по ТЗ заказчика
Уровень вакуума <10-6 торр
Контроль давления процесса Автоматический
Газовые линии с цифровыми РРГ 4 линии (стандартно). Опционально до 10 линий
Система контроля, ПО ПЛК (XP/Windows 7), DeviceNet
Электропитание 380 В, 50 Гц, 3 фазы
Габариты установки (Ш×Г×В) 730×934×2147 мм с газовым шкафом на каркасе
730×934×1172 мм без газового шкафа на каркасе
Возможно размещение газового шкафа отдельно от каркаса установки.
Сертификация CE, SEMI-2, S8

Основные опции

  • Система отслеживания окончания процесса:
    • Оптическая эмиссионная спектроскопия (OES)
    • Оптическая эмиссионная интерферометрия (OEI)
    • Лазерная интерферометрия (LEPD),
  • Сухой форвакуумный насос,
  • ТМН на магнитном подвесе,
  • Дополнительные газовые линии (до 10 в сумме),
  • Расширение температурного интервала электрода (например, –25...+60 С, либо диапазон на заказ),
  • Перчаточный бокс,
  • Специальные держатели образцов,
  • Нагреватели вакуумной камеры и вакуумного тракта,
  • Удаленный мониторинг состояния системы SECS/GEM,
  • Пакет для установки через стенку ЧПП,
  • Размещение газового шкафа отдельно от каркаса установки,
  • Расширенная гарантия производителя,
  • Специальные опции под заказ

Различные варианты размещения подложек для установки Vision 320 RIE

Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического травления


Цена на сайте не является публичной офертой. Описание оборудования носит информационный характер и может отличаться от описания, представленного в технической документации производителя. Конечную стоимость и технические характеристики оборудования уточняйте у наших менеджеров.
Товаров в сравнении: 0