Термоплиты HT150S/200S

Термоплиты HT150S/200S доступны для просмотра в демозале в Санкт-Петербурге

Добавить к сравнению

Склад: сроки постави по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Термоплиты HT150S/200S производства компании APT (Германия) предназначены для равномерного нагрева подложки до заданной температуры. Типичными применениями являются: сушка задубливание фоторезиста. Рабочий диапазон температур термоплиты: +50...230 °С, точность поддержания температуры:+/-1 °С, равномерность температуры по поверхности: +/-0.5°С .

Стандартная конфигурация термоплит HT150S/200S подходит для работы с подложками диаметром до 150/200 мм соответственно. Большие размеры термоплит и специальные температурные диапазоны доступны по требованию заказчика. Возможна конфигурация с несколькими зонами нагрева, например, для одновременной обработки двух подложек.

В качестве основных опций предлагаются подъемные пины и защитная крышка.

Технические характеристики


HT-150S HT-200S
Размер нагревательного элемента, мм 180х180 230х230
Диапазон температур, °С 50 – 230
Точность поддержания температуры, °С ±1
Равномерность нагрева рабочей поверхности, °С ±0,5
Время процесса, с 1-999
Материал нагреваемой поверхности Анодированный алюминий
Количество программ в памяти 20
Максимальная потребляемая электрическая мощность, Вт 550 1200
Габариты (Ш х Г х В), мм 320х450х 200
Вес, кг 7 12