Система ультразвукового спрей-нанесения фоторезиста Exacta Coat

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
Оцените качество обслуживания, помогите нам стать лучше!
  • Описание

Exacta Coat — полностью автоматическая настольная трехосевая система спрей-нанесения покрытий, специально разработанная для нанесения фоторезиста на подложки, в том числе с развитым рельефом (3D-структуры, глубокие колодцы). В данной системе используются уникальные ультразвуковые головки разных типов, которые позволяют подобрать оптимальные параметры технологического процесса.

Три основных типа головок для установки Exacta Coat:

- Головка AccuMist. Создает узкий, немного выгнутый факел распыления шириной 2-6мм.
- Головка Vortex . Создает широкий конический факел распыления шириной 40-70мм.
-Головка Impact. Создает широкий веерообразный факел распыления шириной 13-70мм.

В зависимости от задач и типа образцов, установка Exacta Coat может работать в режиме поштучной или групповой обработки. В варианте со специальной оснасткой для групповой обработки установка может использоваться для работы с партией образцов, размещаемых в рабочей области до 400х400мм (в зависимости от типа УЗ головки и параметров процесса). При этом достигается высокая производительность и повторяемость результата. Для специальных производственных задач установка может оснащаться проходным конвейером.

Образцы закрепляются в рабочей области установки механически или при помощи вакуумного прижима. Для установок серии Exacta Coat предусмотрена возможность нагрева рабочего столика до +150°С, что позволяет значительно расширить технологическое окно при работе с различными типами фоторезиста.

Применения:

Полупроводниковые пластины до 12”
    • Индивидуальная или групповая обработка
    • Нанесение слоев ФР высокой равномерности
    • Нанесение на структуры с рельефом, мезы
Керамика 60х48м
    • Индивидуальная или групповая обработка
    • Нанесение слоев ФР высокой равномерности
    • Работа с отечественными ФР
    • Нанесение на структуры с рельефом
    • Заполнение отверстий

Технические характеристики 
Параметр Значение
Рабочая область, мм до 400х400х100
(в зависимости от выбранного рабочего стола и типа УЗ головки), опционально вакуумный прижим, нагрев до 150°C
Ширина факела нанесения, мм
 (зависит от типа головки)
2–70
Неравномерность нанесения, % Лучше ±3
Максимальная масса загружаемого образца, кг 11,4
Управление ПК на базе Windows
Электропитание 220 В/50 Гц
Сжатый воздух Сухой, безмасляный, давление 5,5 бар
Габариты (ШхВхГ), мм 950х850х800

Есть в наличии на складе в Санкт-Петербурге!

Подробности у наших менеджеров.