Автоматическая установка Spin process station

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Автоматические станции Spin process station производства компании APT (Германия) предназначены для очистки, нанесения/проявления фоторезиста, жидкостного травления подложек диаметром от 50 до 300 мм. Бесшовное исполнение центрифуг из полипропилена (опционально ПТФЭ) позволяет работать со всем видами химических реактивов. В корпус станции Spin process station могут быть встроены различные модули подачи реактивов и газов, включая азот, CO2 и другие. Управление станцией осуществляется при помощи контроллера с возможностью автоматической работы по рецептам.

Конфигурации Spin process station для очистки пластин и фотошаблонов, нанесения/проявления фоторезиста, жидкостного травления, lift-off-процессов могут комплектоваться как стандартной оснасткой, так и оснасткой «под заказ». В числе стандартных опций установок Spin process station:
  • Подложкодержатель с возможностью перемещения по оси Z.
  • Моторизованная крышка центрифуги.
  • Роботизированный манипулятор с несколькими соплами для спрей-распыления реактивов (возможно с обеих сторон подложки).
  • Сопла для обработки струями высокого давления.
  • Подогрев подаваемых реактивов и газов.
  • Тефлоновые емкости для реактивов.
  • Автоматическая система пополнения емкостей с реактивами.
  • Автоматическое смешение реактивов.
  • Дополнительные сливные линии.
  • Мегазвуковая очистка.