Автоматическая установка нанесения, проявления и сушки фоторезиста MRS-AC-ST

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Автоматическая установка MRS-AC-ST позволяет проводить в автоматическом режиме нанесение различных фоторезистов, их проявление и сушку на подложках размером 60 х 48 мм, 2” – 8”. Загрузка образцов в установку производится из кассеты при помощи центрального робота. 

Преимущества автоматической установки MRS-AC-ST:
  • автоматическая кассетная загрузка;
  • высокая производительность и повторяемость процесса;
  • исключение влияния оператора на технологический процесс;
  • малые габариты и простота обслуживания узлов установки;
  • простой интерфейс управления по рецептам.
Модуль нанесения (количество 1 – 6 шт.) Размер образца 60 х 48 мм или 2” – 8”
Скорость вращения 50 – 6000 об./мин.
Точность поддержания скорости вращения ±1 об./мин. (при >100 об./мин.)
Реагент Фоторезист разных типов
Удаление краевого валика Есть
Отмывка с обратной стороны Есть
Модуль проявления (количество 1 – 6 шт.) Размер образца 60 х 48 мм или 2” – 8”
Скорость вращения 50 – 4500 об./мин.
Точность поддержания скорости вращения ±1 об./мин. (при >100 об./мин.)
Реагент Проявитель / деионизованная вода / хим. реактив
Отмывка с обратной стороны Есть
Термоплита (количество 1 – 10 шт.) Температурный режим От комнатной температуры до 150°C стандартно, либо диапазон под заказ
Способ нагрева Контакт, микрозазор
Охлаждающая поверхность (количество 1 – 10 шт.) Температурный режим 20 … 25°C±0,5°C
Перенос образцов Робот Одна или две руки
Перегрузка из кассеты в кассету Загрузка и выгрузка
Система управления Конфигурация ПК и ПЛК
Интерфейс Сенсорный экран
Работа по рецептам Есть