Установки UniTemp серии VSS предназначены для низкотемпературной обработки различных изделий, корпусов и компонентов. Типичным применением являются: оплавление припоя, герметизация корпусов, научно-исследовательские работы и обучение. Настольные компактные установки VSS прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.
Установка VSS-300-HV представляет собой модификацию печи VSS-300 с возможностью работы в высоком вакууме до 10-6 мбар. Печь имеет рабочую нагреваемую область 300×300 мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную. Максимальная температура процесса — до +650 °С (опция). Максимальная скорость нагрева — до 150 К/мин. Нагрев осуществляется за счет инфракрасных ламп. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде, включая водород и пары муравьиной кислоты. Управление выполняется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.
Опции
- Дополнительная газовая линия с РРГ (всего до 3 шт.)
- Модуль подачи муравьиной кислоты
- Оснастка для работы с чистым водородом
- Дополнительная термопара (всего до 4 шт.)
- Расширение температурного диапазона до +650 °С
- Различные вакуумные насосы
- Чиллер
- Специальные опции под заказ
Технические характеристики установки VSS-300-HV
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Рабочая зона | 300×300 мм |
| Высота камеры | 70 мм, опционально до 120 мм |
| Материал плиты | Графит, опционально алюминий или медь |
| Материал камеры | Алюминий, опционально нержавеющая сталь |
| Смотровое окно | Устанавливается при заказе камеры высотой 120 мм |
| Максимальная температура процесса | +450°С, опционально до +650°С |
| Скорость нагрева | До 150 K/мин |
| Скорость охлаждения | До 120 K/мин |
| Уровень вакуума | Опционально до 10-6 мбар (турбомолекулярный насос) |
| Тип нагревателя | 24 ИК-лампы (общая мощность18 кВт) |
| Температурный контроллер | Встроенный |
| Используемые газы |
Азот, кислород, водород, форминг-газ, пары муравьиной кислоты. В базовой комплектации один ротаметр, второй опционально |
| Электропитание | 3×32 А, 380 В |
| Размер установки (Ш×Д×В) | 540×690×890 мм |
| Вес печи | 110 кг |
