Печь оплавления припоя RSO 200

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Установки UniTemp серии RSO предназначены для быстрой низкотемпературной обработки полупроводниковых пластин, различных изделий, корпусов и компонентов. Типичным применением являются: термические процессы в атмосфере чистого водорода и паров муравьиной кислоты, оплавление припоя, герметизация корпусов, научно-исследовательские работы и обучение. Настольные компактные установки RSO прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.

Установка RSO 200 имеет рабочую нагреваемую область 200×170 мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную. Максимальная температура процесса — до +650 °С. Максимальная скорость нагрева — до 10 К/с. Нагрев осуществляется за счет инфракрасных ламп. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде, включая водород и пары муравьиной кислоты. Управление выполняется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.

Технические характеристики установки RSO 200

Рабочая зона 200×170 мм
Высота камеры 40 мм
Материал камеры Кварц
Смотровое окно Нет
Максимальная температура процесса +650 °С
Скорость нагрева До 10 K/с
Уровень вакуума До 10-3 мбар
До уровня 10-6 мбар (модель RSO 200-HV)
Тип нагревателя 12 ИК-ламп (общая мощность 9 кВт)
Температурный контроллер Встроенный
Используемые газы Азот, кислород, водород, форминг-газ, пары муравьиной кислоты
В базовой комплектации один ротаметр
Электропитание 3×32 А, 380 В
Размер установки (Ш×Д×В) 505×504×460 мм
Вес печи 55 кг

Опции

  • Дополнительная газовая линия с ротаметром (всего до 4 шт.)
  • Модуль подачи муравьиной кислоты
  • Оснастка для работы с чистым водородом
  • Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
  • Дополнительная термопара
  • Различные вакуумные насосы
  • Чиллер
  • Специальные опции под заказ

Сравнительная таблица основных характеристик установок оплавления припоя, термического отжига и герметизации UniTemp серии RSS, VSS и RSO