Установка плазменной обработки Zepto

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
  • Видео
Установки серии Zepto предназначены для плазмохимической обработки небольших образцов в R&D-лабораториях и на опытных производствах. С помощью бюджетных малогабаритных установок можно проводить все основные виды плазменной обработки при минимальных затратах. Различные варианты материалов камеры и типов генераторов позволяют получить конфигурацию, идеально подходящую для конкретного применения.

Установки Zepto представляют собой компактный настольный металлический корпус, в котором расположены: вакуумная камера, выполненная из боросиликатного стекла или кварца; ВЧ-генератор 40 кГц или 13,56 МГц; газовая арматура и контроллеры. Вакуумная камера закрывается быстросъемной крышкой. Управление осуществляется аналоговыми переключателями или при помощи сенсорного дисплея. Также возможен вариант управления посредством внешнего компьютера. Основными преимуществами установок серии Zepto являются низкая стоимость и малые сроки изготовления.

Типичные применения:

  • Керамика 60×48 мм: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
  • Полупроводниковые пластины до 3″: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
  • R&D и исследования.

Технические характеристики установок серии Zepto

Камера
  • Круглая камера из кварца с крышкой Ø105 мм, глубина 200 или 300 мм
  • Круглая камера из боросиликатного стекла с крышкой Ø105 мм, глубина 200 или 300 мм
Объем камеры 1,7–2,6 л
Газовая система Игольчатые клапаны, ротаметры
Генератор плазмы 40 кГц: 30 или 100 Вт
13,56 МГц: 50 Вт
Электрод Одно- или многоуровневый электрод
Управление
  • Ручное
  • Автоматическое (сенсорный дисплей)
  • Автоматическое (ПК)
Датчик давления Пирани
Загрузка образцов
  • Поддон из алюминия
  • Поддон из нержавеющей стали
  • Поддон из боросиликатного стекла
  • Поддон из кварца
Вакуумный насос Различные варианты под требования заказчика
Габариты (Ш×В×Г) 425×185×450 мм

Сравнительная таблица основных характеристик установок плазменной обработки Diener Electronic