Установка плазменной обработки Atto

Добавить к сравнению

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
  • Видео

Установки серии Atto предназначены для плазмохимической обработки образцов малых и средних размеров в R&D-лабораториях и на опытных производствах. В бюджетных малогабаритных установках проводятся все основные виды плазменной обработки при минимальных затратах. Различные варианты материалов камеры и типов генераторов позволяют получить конфигурацию идеально подходящую под конкретное применение.

Установки Atto представляют собой модификацию серии Zepto с камерой увеличенного объема 10,5 л и более мощным генератором (200 Вт для версии 40 кГц). Основными преимуществами установок серии Atto являются низкая стоимость и малые сроки изготовления. Установки Atto самые популярные в низкобюджетном сегменте благодаря идеальному соотношению функциональности, производительности и стоимости.

Типичные применения:

  • Керамика 60×48 мм: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
  • Полупроводниковые пластины до 6″: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
  • Печатные платы малого размера: очистка отверстий и поверхности перед монтажом;
  • Обработка объемных образцов: электроника, приборостроение, медицина и др.;
  • R&D и исследования.

Технические характеристики установок серии Atto

Камера Круглая камера из боросиликатного стекла или кварца с крышкой Ø211 мм, глубина 300 мм
Объем камеры 10,5 л
Газовая система Игольчатые клапаны, ротаметры
Генератор плазмы
  • 40 кГц:200 Вт
  • 13,56 МГц: 50 Вт
Электрод Одно- или многоуровневый электрод
Управление
  • Ручное
  • Автоматическое (сенсорный дисплей)
  • Автоматическое (ПК)
Датчик давления Пирани
Загрузка образцов
  • Поддон из алюминия
  • Поддон из нержавеющей стали
  • Поддон из боросиликатного стекла
  • Поддон из кварца
Вакуумный насос Различные варианты под требования заказчика
Габариты (Ш×В×Г) 425×275×450 мм

Сравнительная таблица основных характеристик установок плазменной обработки Diener Electronic