Установка раскладки и сортировки кристаллов DS-750

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание

Установка предназначена для раскладки и сортировки кристаллов с полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм после операции резки пластины на кристаллы. Обеспечивает раскладку и сортировку кристаллов квадратной и прямоугольной формы размером от 0,4 до 20 мм в специальную тару (waffle tray, Gel-Pak), процесс осуществляется с контактом с лицевой поверхностью кристалла или бесконтактно. В зависимости от требуемой производительности возможна автоматическая загрузка/выгрузка пластин или лотков из кассеты.

Особенности:         

  • Контактный и бесконтактный съем кристаллов
  • Возможность сортировки с пластины или из кассеты 
  • Гибкая input-output конфигурация сортировки (Wafer-Wafer, Wafer-Tray, Tray-Tray, Wafer-Gel-Pak)
  • Быстрая перенастройка оснастки для различных типов сортировки
  • Мощное программное обеспечение для автоматического картографирования поверхности пластины и задания параметров сортировки
  • Система распознавания шаблонов (pattern recognition) с возможностью задания эталонного шаблона
  • CCTV камеры (вид сверху) c 6x зумом и программируемым LED освещением
  • Контроль точности съема и размещения кристаллов
  • Контроль силы сцепления головки с кристаллом
  • Графический интерфейс пользователя (GUI) на базе MS Windows
  • Мониторинг процесса в режиме реального времени
  • 2 цветных ЖК-дисплея для отображения положения съема и размещения кристалла
  • Возможность автоматической загрузки/выгрузки пластины или держателя лотка (tray carrier) из кассеты (дополнительная опция).

Технические характеристики:

Размер пластин До 200 мм
Размер кристаллов Длина: 0,4 – 20 мм;
Ширина: 0,4 – 10 мм;
Толщина: 0,15 – 0,45 мм;
Входная оснастка Координатный стол XY 200x200 мм;
Держатели для пластин до Ø200 мм;
Пластины на металлической рамке/пластиковом кольце (до Ø150 мм);
Кассета с ячейками (waffle tray): 50 – 150 мм;
Gel-Pak;
Выходная оснастка Координатный стол XY 200x200 мм c пневматическими и вакуумными держателями для кассеты (waffle tray)/ рамки (wafer frame)/gel-pak;
Пластины на металлической рамке (ширина до 276 мм)/пластиковом кольце (до Ø150 мм);
Кассета с ячейками (waffle tray): 50 – 150 мм;
Вращающаяся головка Pick & Place Угловое перемещение: ± 150°;
Макс. перемещение по оси Z: 64 мм;
Сила сцепления: 50 – 2000 г;
Выталкиватель кристаллов с программируемой скоростью и ходом;
Видеокамера 1х CCTV камера (вид сверху) c 6x зумом и программируемым LED освещением;
1x Post pick up-looking CCTV камера (вид сверху) c 6x зумом и программируемым LED освещением;
Стереомикроскоп 6х зум;
Расположен на входе для установки иглы выталкивателя и мониторинга процесса съема кристалла;
Нагнетатель ионизированного воздуха Обеспечивает защиту кристаллов от электростатического заряда;
Программное обеспечение Оболочка: MS Windows XP;
Система распознавания образов (pattern recognition), 256 оттенков серого;
Работа с картами (поддерживает наиболее распространенные форматы «map input»);
Управление ПК, клавиатура, track-ball;
2x ЖК дисплея 18";
Язык интерфейса: Английский;
Электропитание 110/220 В, 2000 Вт
Сжатый воздух 70 PSI
Безопасность ESD защита, директивы CE
Габариты (ШхГхВ) 1219х1372х1650 мм
Вес ~ 1000 кг