Описание
Установка предназначена для раскладки и сортировки кристаллов с полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм после операции резки пластины на кристаллы. Обеспечивает раскладку и сортировку кристаллов квадратной и прямоугольной формы размером от 0,4 до 20 мм в специальную тару (waffle tray, Gel-Pak), процесс осуществляется с контактом с лицевой поверхностью кристалла или бесконтактно. В зависимости от требуемой производительности возможна автоматическая загрузка/выгрузка пластин или лотков из кассеты.
Особенности:
- Контактный и бесконтактный съем кристаллов
- Возможность сортировки с пластины или из кассеты
- Гибкая input-output конфигурация сортировки (Wafer-Wafer, Wafer-Tray, Tray-Tray, Wafer-Gel-Pak)
- Быстрая перенастройка оснастки для различных типов сортировки
- Мощное программное обеспечение для автоматического картографирования поверхности пластины и задания параметров сортировки
- Система распознавания шаблонов (pattern recognition) с возможностью задания эталонного шаблона
- CCTV камеры (вид сверху) c 6x зумом и программируемым LED освещением
- Контроль точности съема и размещения кристаллов
- Контроль силы сцепления головки с кристаллом
- Графический интерфейс пользователя (GUI) на базе MS Windows
- Мониторинг процесса в режиме реального времени
- 2 цветных ЖК-дисплея для отображения положения съема и размещения кристалла
- Возможность автоматической загрузки/выгрузки пластины или держателя лотка (tray carrier) из кассеты (дополнительная опция).
Технические характеристики:
| Размер пластин | До 200 мм |
| Размер кристаллов |
Длина: 0,4 – 20 мм; Ширина: 0,4 – 10 мм; Толщина: 0,15 – 0,45 мм; |
| Входная оснастка |
Координатный стол XY 200x200 мм; Держатели для пластин до Ø200 мм; Пластины на металлической рамке/пластиковом кольце (до Ø150 мм); Кассета с ячейками (waffle tray): 50 – 150 мм; Gel-Pak; |
| Выходная оснастка |
Координатный стол XY 200x200 мм c пневматическими и вакуумными держателями для кассеты (waffle tray)/ рамки (wafer frame)/gel-pak; Пластины на металлической рамке (ширина до 276 мм)/пластиковом кольце (до Ø150 мм); Кассета с ячейками (waffle tray): 50 – 150 мм; |
| Вращающаяся головка Pick & Place |
Угловое перемещение: ± 150°; Макс. перемещение по оси Z: 64 мм; Сила сцепления: 50 – 2000 г; Выталкиватель кристаллов с программируемой скоростью и ходом; |
| Видеокамера |
1х CCTV камера (вид сверху) c 6x зумом и программируемым LED освещением; 1x Post pick up-looking CCTV камера (вид сверху) c 6x зумом и программируемым LED освещением; |
| Стереомикроскоп |
6х зум; Расположен на входе для установки иглы выталкивателя и мониторинга процесса съема кристалла; |
| Нагнетатель ионизированного воздуха | Обеспечивает защиту кристаллов от электростатического заряда; |
| Программное обеспечение |
Оболочка: MS Windows XP; Система распознавания образов (pattern recognition), 256 оттенков серого; Работа с картами (поддерживает наиболее распространенные форматы «map input»); |
| Управление |
ПК, клавиатура, track-ball; 2x ЖК дисплея 18"; Язык интерфейса: Английский; |
| Электропитание | 110/220 В, 2000 Вт |
| Сжатый воздух | 70 PSI |
| Безопасность | ESD защита, директивы CE |
| Габариты (ШхГхВ) | 1219х1372х1650 мм |
| Вес | ~ 1000 кг |
