Установка глубокого травления кремния Versaline DSE

Plasma-Therm Versaline — это современная, надежная, высокопроизводительная платформа, на базе которой реализованы процессные модули всех ключевых типов плазменных процессов травления и осаждения материалов: RIE, RIE-ICP, PECVD, HDPCVD, DSE. Все процессные модули на платформе Versaline имеют стандартный механический интерфейс MESC и могут быть оснащены различными загрузчиками подложек, в зависимости от масштаба производства:

• автоматический шлюз — для R&D-лабораторий и мелкосерийных производств;
• автоматический кассетный загрузчик — для пилотных и серийных производств;
• роботизированный загрузчик, объединяющий модули в кластер, — для крупносерийных производств.

Установка Plasma-Therm Versaline DSE (Deep Silicon Etch) в исполнении с автоматическим шлюзом специально предназначена для глубокого травления кремния. Установка реализует запатентованный процесс DSE компании Plasma-Therm, который по аналогии с Bosch-процессом позволяет достигать высоких скоростей травления и большого аспектного соотношения при сохранении вертикальной геометрии и гладких стенок протравленной структуры. Высокие технологические параметры процесса достигаются в том числе за счет использования специальной системы Plasma-Therm для быстрого переключения технологических газов, подаваемых в реактор. Основной областью применения установки Versaline DSE являются R&D-лаборатории и производства МЭМС-устройств.

Ключевые преимущества установки Versaline DSE:

• Максимальный размер обрабатываемой подложки 200 мм, поштучная обработка.
• Равномерность травления по толщине и воспроизводимость результатов от пластины к пластине — лучше ±2%.
• Высокая скорость травления кремния при большом аспектном соотношении, вертикальной геометрии и гладких стенках протравленной структуры.
• В комплекте с установкой поставляются технологические параметры процесса DSE для выбранного изделия. Параметры гарантируются производителем.
• Наличие вакуумного шлюза в базовой комплектации.
• Простой, интуитивно понятный интерфейс.
• История аварийный сообщений, контроль рецептов в процессе работы — вывод данных о процессе на дисплей в режиме реального времени.
• Программное обеспечение позволяет записывать параметры процессов для дальнейшего анализа.
• Возможность удаленного управления и контроля состояния системы.
• Многоуровневый доступ пользователей.
• Простота использования и обслуживания.
• Малая занимаемая площадь.
• Возможность установки через стену чистого производственного помещения.
• Возможность замены шлюза автоматическим кассетным загрузчиком или роботом.

Основные технические характеристики Versaline DSE

Основные опции

• Система отслеживания окончания процесса:
  • Оптическая эмиссионная спектроскопия (OES)
  • Оптическая эмиссионная интерферометрия (OEI)
  • Лазерная интерферометрия (LEPD)
• Дополнительные газовые линии (до 8 в сумме),
• Изменение температурного интервала электрода (диапазон на заказ),
• Специальные держатели образцов,
• Нагреватели вакуумной камеры и вакуумного тракта,
• Пакет для установки через стенку ЧПП: два варианта,
• Расширенная гарантия производителя