Описание
Термоплита HT-200S производства компании APT (Германия) предназначена для равномерного нагрева подложки до заданной температуры. Типичными применениями являются: сушка задубливание фоторезиста. Рабочий диапазон температур термоплиты: +50...230 °С, точность поддержания температуры:+/-1 °С, равномерность температуры по поверхности: +/-0.5°С .
Стандартная конфигурация термоплиты HT-200S подходит для работы с подложками диаметром до 200 мм. Большие размеры термоплит и специальные температурные диапазоны доступны по требованию заказчика. Возможна конфигурация с несколькими зонами нагрева, например, для одновременной обработки двух подложек.
В качестве основных опций предлагаются подъемные пины и защитная крышка.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Размер нагревательного элемента, мм | 230×230 |
| Диапазон температур, °С | 50 – 230 |
| Точность поддержания температуры, °С | ±1 |
| Равномерность нагрева рабочей поверхности, °С | ±0,5 |
| Время процесса, с | 1-999 |
| Материал нагреваемой поверхности | Анодированный алюминий |
| Количество программ в памяти | 20 |
| Максимальная потребляемая электрическая мощность, Вт | 1200 |
| Габариты (Ш× Г×В), мм | 320×450×200 |
| Вес, кг | 12 |
