Характеристики
Серия
VPO
Описание
Установки UniTemp серии VPO предназначены для быстрой высокотемпературной обработки полупроводниковых пластин и плоских подложек большого размера. Настольные компактные установки VPO прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.
Установка VPO-300 позволяет работать с образцами до 300 мм в диаметре. Рабочая нагреваемая область: 300×300мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную при помощи автоматического подъемного механизма крышки камеры. Максимальная температура процесса — до +1000 С. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде. Управление осуществляется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.
Опции
- Дополнительные газовые линии с РРГ (всего до 3 шт.)
- Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
- Дополнительная термопара (всего до 4 шт.)
- Увеличение высоты камеры до 120 мм
- Различные вакуумные насосы
- Чиллер
- Исполнение камеры из нержавеющей стали
- Специальные опции под заказ
Технические характеристики установки VPO 300
| Максимальный размер подложки | Диаметр 300 мм (12″), рабочая область 300×300 мм |
| Материал камеры | Алюминий (опционально – нержавеющая сталь) |
| Высота камеры | 50 мм, опционально до 120 мм |
| Система загрузки подложек |
|
| Уровень вакуума | До 10-3 мбар |
| Максимальная температура процесса | До +1000 °С |
| Тип нагревателя |
|
| Зоны нагрева | Верхняя и нижняя (программируемые) |
| Температурный контроллер | Встроенный |
| Используемые газы | Азот, кислород, форминг-газ В базовой комплектации один ротаметр с цифровым дисплеем 5 slm |
| Электропитание | 3×32 А, 380 В, 3 фазы |
| Размер установки (Ш×Д×В) | 540×690×890 мм (настольное размещение) |
| Вес печи | 100 кг |
