Печь быстрого термического отжига VPO 1000-300

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Установки UniTemp серии VPO предназначены для быстрой высокотемпературной обработки полупроводниковых пластин и плоских подложек большого размера. Настольные компактные установки VPO прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.

Установка VPO 1000-300 позволяет работать с образцами до 300 мм в диаметре. Рабочая нагреваемая область: 300×300мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную при помощи автоматического подъемного механизма крышки камеры. Максимальная температура процесса — до +1000 С. Максимальная скорость нагрева — до 75 К/с. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде. Управление осуществляется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.

Технические характеристики установки VPO 1000-300

Максимальный размер подложки Диаметр 300 мм (12″) , рабочая область 300×300 мм
Материал камеры Кварцевое стекло (водоохлаждаемая камера)
Высота камеры 50 мм, опционально до 100 мм
Система загрузки подложек
  • Поддон из кварцевого стекла
  • Опциональный держатель из пирографита или графита, покрытого SiC
Уровень вакуума До 10-3 мбар
Максимальная температура процесса До +1000 °С
Тип нагревателя ИК-лампы (общая мощность 36 кВт)
Зоны нагрева Верхняя и нижняя (программируемые)
Скорость нагрева До 40 K/с
Скорость охлаждения
  • От +1000 до +400 °С: 200 К/мин
  • от +400 до +100 °С: 30 К/мин
  • подложка охлаждается азотом
Температурный контроллер Встроенный
Используемые газы Азот, кислород, форминг-газ В базовой комплектации один ротаметр с цифровым дисплеем 5 slm
Электропитание 3×32 А, 380 В, 3 фазы
Размер установки (Ш×Д×В) 505×504×680 мм (настольное размещение)
Вес печи 100 кг

Опции

  • Дополнительные газовые линии с ротаметром или РРГ (всего до 3 шт.)
  • Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
  • Дополнительная термопара
  • Увеличение высоты камеры до 100 мм
  • Различные вакуумные насосы
  • Чиллер
  • Дополнительная рабочая камера
  • Исполнение камеры из нержавеющей стали
  • Специальные опции под заказ

Сравнительная таблица основных характеристик установок быстрого термического отжига UniTemp серии RTP и VPO