Печь быстрого термического отжига RTP 150 / RTP 150-EP

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
Оцените качество обслуживания, помогите нам стать лучше!
  • Описание
Установки UniTemp серии RTP предназначены для быстрой высокотемпературной обработки полупроводниковых пластин и плоских подложек. Настольные компактные установки RTP прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.

Установки RTP 150 / RTP 150-EP позволяют работать с образцами до 150 мм в диаметре. Рабочая нагреваемая область: 156×156 мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную. Максимальная температура процесса — до +1000 °С (до +1200 °С в версии RTP 150-EP). Максимальная скорость нагрева — до 75 К/с (до 150 К/с в версии RTP 150-EP). Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде. Управление осуществляется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.

Технические характеристики установки

Максимальный размер подложки Диаметр 150 мм (6″) , рабочая область 156×156 мм
Материал камеры Кварцевое стекло (водоохлаждаемая камера)
Высота камеры 40 мм
Система загрузки подложек Поддон из кварцевого стекла;
Опциональный держатель из пирографита или графита, покрытого SiC
Уровень вакуума До 10-3 мбар
До уровня 10-6 мбар (модель RTP 150-HV)
Максимальная температура процесса До +1000 °С / До + 1200 °С в версии RTP 150-EP
Тип нагревателя ИК-лампы (общая мощность 21 кВт / 42 кВт в версии RTP 150-EP)
Зоны нагрева Верхняя и нижняя (программируемые)
Скорость нагрева До 75 K/с / До 150 К/с в версии RTP 150-EP
Скорость охлаждения От +1000 до +400 °С: 200 К/мин
От +400 до +100 °С: 30 К/мин
подложка охлаждается азотом
Температурный контроллер Встроенный
Используемые газы Азот, кислород, форминг-газ 
В базовой комплектации один РРГ 5 slm
Электропитание 3×32 А, 380 В, 3 фазы
Размер установки (Ш×Д×В) 505×504×420 мм (настольное размещение)
Вес печи 75 кг

Опции

  • Дополнительные газовые линии с РРГ (всего до 4 шт.)
  • Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
  • Дополнительная термопара
  • Различные вакуумные насосы
  • Чиллер
  • Дополнительная рабочая камера

Сравнительная таблица основных характеристик установок быстрого термического отжига UniTemp серии RTP и VPO