Печь быстрого термического отжига RTP 100-HV

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Установки UniTemp серии RTP предназначены для быстрой высокотемпературной обработки полупроводниковых пластин и плоских подложек. Настольные компактные установки RTP прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.

Установка RTP 100-HV представляет собой модификацию печи RTP 100 с возможностью работы в высоком вакууме до 10-6 мбар. Печь работает с образцами до 100 мм в диаметре. Рабочая нагреваемая область: 100×100 мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную. Максимальная температура процесса — до +1200 С. Максимальная скорость нагрева — до 150 К/с. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде. Управление осуществляется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.

Технические характеристики установки RTP 100-HV

Максимальный размер подложки Диаметр 100 мм (4″) , рабочая область 100×100 мм
Материал камеры Кварцевое стекло (водоохлаждаемая камера)
Высота камеры 10 мм
Система загрузки подложек
  • Поддон из кварцевого стекла
  • Опциональный держатель из пирографита или графита, покрытого SiC
Уровень вакуума До 10-6 мбар (турбомолекулярный насос)
Максимальная температура процесса До +1200 °С
Тип нагревателя ИК-лампы (общая мощность 18 кВт)
Зоны нагрева Верхняя и нижняя (программируемые)
Скорость нагрева До 150 K/с
Скорость охлаждения
  • От +1200 до +400 °С: 200 К/мин
  • От +400 до +100 °С: 30 К/мин
  • подложка охлаждается азотом
Температурный контроллер Встроенный
Используемые газы
  • Азот, кислород, форминг-газ
  • В базовой комплектации один РРГ 5 slm
Электропитание 3×32 А, 380 В, 3 фазы
Размер установки (Ш×Д×В) 505×504×580 мм (настольное размещение)
Вес печи 65 кг

Опции:

  • Дополнительные газовые линии с РРГ (всего до 4 шт.)
  • Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
  • Дополнительная термопара
  • Различные вакуумные насосы
  • Чиллер
  • Дополнительная рабочая камера

Сравнительная таблица основных характеристик установок быстрого термического отжига UniTemp серии RTP и VPO