Установка измерения геометрических параметров пластин FLA-200

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
Измерения в данной системе производятся бесконтактным методом, что исключает разрушение рабочей поверхности пластины. Установка позволяет проводить измерение таких параметров пластин, как толщина, разнотолщинность (TTV), прогиб (BOW), коробление (WARP), локальная и глобальная плоскостность пластин в соответствии со стандартами ASTM. Система позволяет работать с пластинами диаметром до 300 мм. Измерение толщины производится в диапазоне 500 мкм без проведения повторной калибровки. Система позволяет проводить измерение 12,000 точек по поверхности в течение 1 минуты. Результаты картографирования поверхности могут быть представлены в виде 2D/3D изображений, возможен импорт данных в Excel.

Область применения:

  • Измерение геометрических характеристик полупроводниковых пластин Si, poly-Si, SiC, GaAs, GaN, Ge, InP, сапфира, кварца
  • Контроль поверхности пластин после технологических операций дисковой/проволочной резки слитков, шлифовки, полировки, утонения, травления

Технические характеристики:

Диаметр пластин 76, 100, 150, 200 мм
300 мм (опция)
Диапазон измерения толщины 200 – 1200 мкм, точность ± 0,5 мкм
Диапазон измерения прогиба (BOW) ± 350 мкм, точность ± 3 мкм
Диапазон измерения коробления (WARP) до 350 мкм, точность ± 3 мкм
Плоскостность [локальная] точность ±0,15 мкм, воспроизводимость 0,05 мкм
Плоскостность [глобальная] точность ±0,15 мкм, воспроизводимость 0,05 мкм
Управление PC и специализированное ПО