Установка бесконтактного измерения электрических характеристик CV-1500

Установка бесконтактного измерения электрических характеристик CV-1500

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
Оцените качество обслуживания, помогите нам стать лучше!
  • Описание

В установке CV-1500 реализуется бесконтактный принцип измерения C-V и I-V характеристик МДП -структур, основанный на запатентованной технологии коронного разряда и зонда Кельвина (патент Semilab SDI). Важнейшими отличительными особенностями технологии, в сравнении с контактными методами измерений электрических параметров, является отсутствие необходимости формирования металлического контакта к поверхности и неразрушающий характер измерений. Это позволяет проводить измерения как на рабочих пластинах, так и на тестовых структурах.

Загрузка подложек осуществляется вручную. Установка CV-1500 позволяет выполнять картирование поверхности от точки к точке в ручном режиме и анализировать данные посредством встроенного программного обеспечения. Подходит для научно-исследовательских разработок и мелкосерийного производства.
Доступны тестовые измерения образцов в лаборатории производителя.

Измеряемые материалы:

  • Профиль легирования в эпитаксиальных слоях кремния p/p+, n/n+, n/p
  • Диэлектрические пленки на кремнии (Si)
  • Диэлектрические пленки на карбиде кремния (SiC)
  • Диэлектрические пленки на арсениде галлия (GaN)

Технические характеристики:

Режимы измерений C-V метод
I-V метод
Размер подложек От Ø15 мм до Ø300 мм
Загрузка подложек Ручная
Измеряемые параметры CD – емкость диэлектрика (Dielectric capacitance)
CET, EOT – эквивалентная толщина окисла (Capacitance/Equivalent oxide thickness)
VFB – напряжение плоских зон (Flat band voltage)
Dit - плотность поверхностных состояний (Interface state density)
Qit – заряд поверхностных состояний (Interface Trapped Charge)
Qtot – суммарный заряд в окисле (Oxide Total Charge)
Vsb – напряжение потенциального барьера (Semiconductor Surface Barrier)
IL – ток утечки диэлектрика (Dielectric Leakage Current)
Управление Автоматическое на базе OS Windows