Полуавтоматическая установка четырехзондового измерения сопротивления Cresbox

Полуавтоматическая установка четырехзондового измерения сопротивления Cresbox

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
Оцените качество обслуживания, помогите нам стать лучше!
  • Описание

Установка оснащается автоматическим зондом и автоматизированным подложкодержателем. Загрузка подложек осуществляется вручную. Максимальный диаметр обрабатываемых пластин составляет 200 мм. Установка поставляется в комплекте с ПК и специализированным программным обеспечением для проведения измерений. Имеется функция картографирования пластины с заданием до 1225 точек (круглые, квадратные, произвольные карты), создания 2D/3D карт поверхности результатов измерений.

Cresbox способна работать в разных режимах: плоские резы с известной толщиной (SLICE), удельное электрическое сопротивление (BULK), отношение V/I (электрическое сопротивление), поверхностное сопротивление (Sheet). Данное оборудование снабжено функцией автоматического изменения диапазона измерений, а также может самостоятельно проверять корректность работы. Для образцов из кремния есть возможность задать корректирование по параметрам температуры и толщины.

Обширный диапазон рабочих материалов, практичный дизайн, простата эксплуатации, способность получать измерения по стандартам ASTM – все это делает возможным использование данного оборудования, как в научно-исследовательской сфере, так и при мелкосерийном производстве.

Доступны тестовые измерения образцов в лаборатории производителя.

Измеряемые материалы:

  • Наноматериалы (углеродные нанотрубки, DLC, графен, серебряные нанопроволоки и т.д.)
  • Полупроводники и материалы солнечных элементов (Si, poly-Si, SiC и т.д.)
  • Тонкие проводящие пленки (металл, ITO, IZO т.д.)
  • Легированные образцы, эпитаксиальные слои

Особенности:

  • Возможность получать данные в соответствии со стандартами ASTM (SEMI)
  • Простота эксплуатации и практичный дизайн
  • Возможность проведения работ с пластинами диаметром до 200 мм (опционально до 300 мм)
  • Возможность проведения работ с прямоугольными и квадратными подложками
  • Простота настройки измерений и возможность построения 2D/3D карт сопротивления

Технические характеристики:

Метод измерений DC 4-point
ASTM F 84-99, ASTM F 390-11, ASTM F 374-00a, ASTM F 43, ASTM F 1529-97
Материал образца Si, poly-Si, SiC, Ge, DLC, ITO, IGZO, GaAs Epi, GaN Epi, InP, Ga проводящие металлические пленки, карбоновые нанотрубки, легированные образцы, графен
Размер образца Диаметр до 200 мм (300 мм опция)
Прямоугольные подложки до 156х156 мм
Параметр толщины: до 2 мм
Интервал измерения удельного электрического сопротивления 1 мкΩ∙см – 300 кΩ∙см
(для пластин толщиной до 2000 мкм)
Интервал измерения поверхностного сопротивления 5 мΩ/□ – 10 МΩ/□
Интервал измерения отношения V/I 1 мΩ – 3 МΩ
Время измерения в одной точке Не более 3 сек
Точность показаний
Воспроизводимость измерений
< 1%
≤ 0,7%
Материал зонда Карбид вольфрама (Осмий по запросу):
- промежуток между иглами: 1 мм (по запросу 0.500 – 1.591 мм)
- радиус скругления: 40мкм (по запросу 25 – 500 мкм)
- усилие прижима: 200г (по запросу 10 – 250г)
Управление ПК + специализированное ПО с заданием карты измерений (макс. 1225 точек)
Задание отступа от края
2D/3D карты сопротивления
TFT-монитор, OS Windows 10 (Eng)
SPC функция
3 уровня доступа (оператор, наладчик, технолог)
Функция поправки на температуру (для кремния) Наличие
Функция самопроверки корректности работы Наличие
Питание AC 220В ±10%, 50/60 Гц, однофазное

Имея многолетний опыт работы, компания «Диполь» поставляет на российский рынок только качественные приборы и оборудование для микроэлектроники, при этом оказывая необходимые сопутствующие услуги по технической поддержке, поверке и калибровке средств измерений.