Тестер пластин SEMILAB WT-2000

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание

WT-2000 — это мощная настольная платформа для измерения различных характеристик полупроводниковых материалов. Базовая комплектация оснащена всеми функциями, необходимыми для проведения измерений, включает в себя источники питания, компьютерное и операционное программное обеспечение, XY измерительный столик и прочее. Система позволяет контролировать наличие примесей, проводить исследования эпитаксиальных слоев и результатов ионной имплантации, а также проводить исследования диэлектриков на пластинах диаметром до 300 мм. По требованию пользователя система может быть дополнена возможностью автоматизированной загрузки пластин из кассеты. Система WT-2000 позволяет проводить измерения как в режиме сканирования по запрограммированной карте, так и в отдельно заданных точках. Доступно проведение тестовых измерений в лаборатории производителя.

В зависимости от задач пользователя, установка WT-2000 может использоваться как в полупроводниковом производстве, так и при изготовлении солнечных элементов. В установке может быть реализовано одновременно до 4 методов измерений (на выбор), таких как:

  • измерение удельного сопротивления 4-х зондовым методом;
  • измерение удельного сопротивления бесконтактным методом;
  • измерение времени жизни неосновных носителей заряда методом СВЧ-фотопроводимости (µ-PCD), в том числе при температуре образца от -193°С до 50°С;
  • количественное определение примесей железа (пары Fe-B) в структуре материала методом вспышки (flash light);
  • определение диффузионной длины неосновных носителей заряда методом поверхностной фото-ЭДС (SPV) или методом laser-beam-induced current (ток, наведенный лазерным лучом);
  • определения параметров границы раздела «оксид–кремниевая пластина» методом бесконтактного снятия кривых V-Q (voltage-charge);
  • измерение поверхностного сопротивления и токов утечки имплантированного слоя методом JPV (junction photovoltage);
  • Области применения:
  • Входной контроль параметров пластины
  • Контроль параметров легированных слоев
  • Измерение пластины с антиотражающим покрытием
  • Измерение кремниевых солнечных элементов (подложки 156х156 мм)

Технические характеристики:

Размер образца 200 мм в диаметре
Измерительная головка u-PCD Лазер 904 нм
Диаметр лазерного пятна: 1 мм
Диапазон измерений времени жизни: от 100 нс до 30 мс
Воспроизводимость: <3%
Время измерения: 10 - 300 мс/точка (в зависимости от материала)
Измерительная головка JPV Диапазон измерений: 10 Ω/□ - 10 000 Ω/□
Разрешение в Ω/□: 0.2%
Разрешение по плоскости (lateral resolution): 1 мм
Воспроизводимость: <0.2%
Время измерения: <90 сек для пластины Ø200мм с разрешением по плоскости 8мм (~490 точек)
Измерение удельного сопротивления 4-х зондовым методом Диапазон измерения поверхностного сопротивления: 0,001 Ω/□ – 10 МΩ/□
Воспроизводимость: 2% (на калибровочном образце VLSI)
Точность: 3%
Материал зонда: Карбид вольфрама (производитель: Jandel)
Радиус скругления зонда: 100 мкм (опция 200 мкм, 300 мкм)
Расстояние между зондами: 1,016 мм
Число опусканий ~50.000
Измерительный зонд для бесконтактного измерения сопротивления (Eddy current) Стандартный диапазон измерений: 0,5-20 Ом*см (опция 0,1 – 10 Ом*см)
Измерительная головка поверхностной фото-ЭДС (SPV) Зонд с 4 лазерами: 850нм (или 880нм), 935 нм, 980 нм, 1015 нм
Диаметр зонда: 8 мм
Управление ПК + Специализированное ПО (Wintau32)
Электропитание AC 220В ±10%, 50/60 Гц, однофазное
Габариты(ШхГхВ) 650х730х960 мм
Вес 100кг