Продолжая просмотр данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование нами файлов cookie. Узнать подробнее. согласен

Спектральный эллипсометр Semilab SE-2000

Производитель: Semilab

Склад: сроки поставки по запросу

Сравнить

Цена

по запросу
Узнать цену
  • Описание
  • Характеристики
  • Опции
  • Видео
  • Публикации

Эллипсометр Semilab SE-2000 представляет собой уникальную модульную оптическую платформу, включающую спектроскопический эллипсометр с вращающимся компенсатором. Прибор оснащен автоматическим гониометром. Различные типы подложкодержателей, позволяют работать с образцами диаметром до 300 мм как в ручном, так и в автоматическом режиме с функцией картографирования (mapping). Гибкая конфигурация устройства позволяет добавлять в конструкцию электрофизические методы измерений.

Спектральный эллипсометр позволяет проводить бесконтактный, неразрушающий оптический анализ одно- и многослойных структур на кремнии, стекле, пленочном носителе, а также определять толщину тонкопленочных образцов и их оптические свойства (коэффициент преломления, показатель поглощения). Модульный дизайн системы отвечает требованиям по измерению простых однослойных образцов и решению сложных задач, сочетающих в себе поляриметрию, рефлектометрию, эллипсометрию с использованием матрицы Мюллера (исследование анизотропных материалов). Система оснащена уникальной возможностью независимого изменения угла наклона поляризатора и анализатора, имеет малый размер пятна (400 мкм). В зависимости от конфигурации, эллипсометр SE-2000 позволяет работать в спектральном диапазоне от дальнего УФ (190 нм) до среднего ИК (25 мкм) на одном гониометре (уникальный в своем классе прибор). Система оснащена специальным программным обеспечением для проведения измерений и анализа полученных данных (SAM/SEA). Имеется встроенная библиотека материалов (более 500) с известными показателями преломления и поглощения. Управление системой осуществляется с помощью стационарного ПК или ноутбука через внешнюю сеть, или же с помощью интерфейсной сенсорной панели.

Узнать теоретические основы эллипсометрии, а также особенности моделей и принцип работы эллипсометров Semilab, можно в нашей статье - «Эллипсометрия в микроэлектронике».

Режимы измерений

  • спектральная эллипсометрия для измерения толщины тонких пленок и их оптических функций, включая сложные многослойные структуры;
  • эллипсометрия анизотропных образцов;
  • просвечивающая эллипсометрия прозрачных образцов;
  • рефлектометрия в зависимости от длины волны и угла падения;
  • матрица Мюллера (11 или 16 элементов), в сочетании с рефлектометрией для трехмерных анизотропных материалов;
  • матрица Джонса для простых анизотропных материалов;
  • измерение отражения и пропускания в зависимости от длины волны и угла падения;
  • поляриметрия (измерение степени поляризации света и угла поворота плоскости поляризации света при прохождении его через оптически активные вещества);
  • порометрия (патент Semilab): измерение распределения пор по размерам (от 0,5 до 60 нм) и пористости тонких пленок;
  • режим измерения в реальном времени для контроля процесса осаждения или травления (опция in-situ).

Область применения

  • Микроэлектроника, полупроводниковые материалы, МЭМС, LED;
  • Материаловедение, анизотропные, пористые материалы, эпитаксиальные слои, ферроэлектрики, 3D-наноматериалы, сегнетоэлектрики, углеродные нанотрубки, графен;
  • Органическая электроника (OLED, OTFT, OPV);
  • Дисплеи (TFT-LCD, LTPS, IGZO, гибкие пленочные);
  • Фотовольтаика, фотоника, солнечные элементы, CIGS, CdTe;

Технические характеристики

Технические характеристики эллипсометра SE-2000
Спектральный диапазон 245 – 990 нм (стандарт)
190 – 2100 нм (опция)
190 – 2500 нм (опция High resolution)
190 нм – 25 мкм (опция FTIR)
Источник света Ксеноновая лампа 75 Вт (стандарт)
Размер пятна 365х470 мкм (опция 60х120 мкм)
Время измерения по всему спектральному диапазону 1 cек (245 – 990 нм)
1 сек (245 – 1700 нм)
5 сек (190 – 1700 нм)
Подложкодержатель Фиксированный или моторизованный Ø200 мм (Ø300 мм опция), с автоматическим движение по оси Z
Центрирующие пины для позиционирования образца
Гониометр Автоматический
Угол наклона 12,5° - 90° с шагом 0,1°
Независимое управление рук анализатора и поляризатора
Управление ПК или ноутбук с комплектом специализированного ПО для измерений и анализа данных
Точность измерений на стандартном образце ~1200A SiO2/Si Толщина: <5 A
Воспроизводимость толщины (1σ): < 0,1 A
Показатель преломления: < 0,005
Воспроизводимость показателя преломления (1σ): < 0,001
Габариты (ДхШхВ) 1530х800х1298 мм

Доступные опции

  • Микроспот (60 мкм);
  • Вращающийся подложкодержатель;
  • Моторизованный подложкодержатль для пластин диаметром до 200 (300) мм, с функцией картографирования (mapping) по осям X-Y и автоматическим движением по Z;
  • Джойстик для ручного позиционирования рабочего стола по осям X-Y-Z;
  • Порометрия тонких пленок;
  • Поляриметрия;
  • Высокотемпературные (до 1000°С) и низкотемпературные (до -196°С) исследования;
  • Испытания в жидкости;
  • Определение толщины, молекулярных изменений микро и нано размерных пленок на границе раздела жидкость-твердое тело, на основе кварцевых микровесов (Quartz Crystal Microbalance);
  • Вертикальная видеокамера;
  • Спектроскопический рефлектометр (250 – 950 нм).

Цена на сайте не является публичной офертой. Описание оборудования носит информационный характер и может отличаться от описания, представленного в технической документации производителя. Конечную стоимость и технические характеристики оборудования уточняйте у наших менеджеров.
Товаров в сравнении: 0