Эллипсометр Semilab SE-1000

Добавить к сравнению

Склад: сроки поставки по запросу

Цена

по запросу
Узнать цену
Оцените качество обслуживания, помогите нам стать лучше!
  • Описание
  • Видео

Эллипсометр Semilab SE-1000 имеет модульную конструкцию и представляет собой высокоэффективный измерительный прибор, который, благодаря компактности и функциональности, прекрасно подходит для решения R&D задач. Прибор оснащен ручным гониометром, образцы на столике перемещаются вручную. Гибкая конфигурация эллипсометра позволяет добавлять в конструкцию электрофизические методы измерений.

Прибор позволяет проводить бесконтактный, неразрушающий оптический анализ одно- и многослойных структур на подложках диаметром до 200 мм, а также определять толщину тонкопленочных образцов и их оптические свойства. Метод вращающегося компенсатора (rotating compensator), реализованный в конструкции эллипсометра SE-1000, обеспечивает постоянство поляризации падающего света для получения воспроизводимых результатов. Система оснащена специальным программным обеспечением для проведения измерений и анализа полученных данных (SAM/SEA). Имеется встроенная библиотека материалов (более 500) с известными показателями преломления и поглощения. Управление системой осуществляется с помощью стационарного ПК или ноутбука через внешнюю сеть, или же с помощью интерфейсной сенсорной панели.

Узнать теоретические основы эллипсометрии, а также особенности моделей и принцип работы эллипсометров Semilab, можно в нашей статье - «Эллипсометрия в микроэлектронике».

Режимы измерений:

  • спектральная эллипсометрия с вращающимся компенсатором;
  • эллипсометрия анизотропных образцов;
  • 11 коэффициентов матрицы Мюллера;
  • матрица Джонса;
  • поляриметрия (измерение степени поляризации света и угла поворота плоскости поляризации света при прохождении его через оптически активные вещества);
  • порометрия (патент Semilab): измерение распределения пор по размерам (от 0,5 до 60 нм) и пористости тонких пленок;
  • режим измерения в реальном времени для контроля процесса осаждения или травления пленки (опция in-situ).

Технические характеристики:

Технические характеристики эллипсометра SE-1000
Спектральный диапазон 245 – 990 нм
Источник света Ксеноновая лампа 75 Вт
Размер пятна 365х470 мкм
Время измерения по всему спектральному диапазону 1 сек
Подложкодержатель Фиксированный Ø200 мм
Ручное позиционирование по XY: 60х60 мм
Центрирующие пины для позиционирования образца
Гониометр Ручной
Угол наклона 45° - 75° с шагом 5°
Измерение пропускания и калибровка при угле 90°
Управление ПК или ноутбук с комплектом специализированного ПО для измерений и анализа данных
Точность измерений на стандартном образце ~1200A SiO2/Si Толщина: <5 A
Воспроизводимость толщины (1σ): < 0,1 A
Показатель преломления: < 0,005
Воспроизводимость показателя преломления (1σ): < 0,001
Габариты (ДхШхВ) 1141х705х850 мм

Доступные опции:

  • Микроспот;
  • Расширение спектра в область ближнего ИК диапазона;
  • Порометрия тонких пленок;
  • Высокотемпературные (до 1000°С) и низкотемпературные (до -196°С) исследования;
  • Испытания в жидкости;
  • Вертикальная видеокамера;
  • Спектроскопический рефлектометр (380 – 990 нм).