Установки герметизации UniTemp серии 2Z HVS предназначены для герметизации корпусов МЭМС, активации геттеров, термического разделения компонентов. Настольные компактные установки 2Z HVS прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.
Установки герметизации 2Z HVS-100 и 2Z HVS-200 имеют по 6 рабочих зон 16 и 42 мм в диаметре соответственно. Оснастка для рабочих зон изготавливается под заказ по чертежам заказчика, в зависимости от типа используемого корпуса. Загрузка корпусов в рабочую камеру производится вручную при помощи автоматического устройства подъема крышки камеры. Максимальная температура процесса — до +450 °С. Нагрев осуществляется сверху и снизу за счет инфракрасных ламп. Максимальная скорость нагрева — до 20 К/мин. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде. Управление выполняется при помощи встроенного микроконтроллера.
Опции
- Дополнительная газовая линиия с ротаметром (всего до 4 шт.)
- Дополнительная термопара
- Смотровое окно
- Чиллер
- Специальные опции и оснастка под заказ
Технические характеристики установок 2Z HVS 100/200
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Рабочая зона | 6×16 мм для 2ZHVS-100 6×х42 мм для 2ZHVS-200 |
| Оснастка для герметизируемого корпуса | По чертежам заказчика |
| Максимальная температура процесса (верхняя/нижняя зона) | +450/+200 °С |
| Скорость нагрева | До 20 K/мин |
| Уровень вакуума | До 10-6 мбар (турбомолекулярный насос) |
| Смотровое окно | Опция |
| Температурный контроллер | Встроенный |
| Электропитание |
3,2 кВт, 220 В для 2Z HVS-100 11 кВт, 220 В для 2Z HVS-200 |
| Размер установки (Ш×Д×В) |
200×500×470 мм для 2Z HVS-100 550×500×1060 мм для 2Z HVS-200 |
| Вес печи |
24 кг + насос для 2Z HVS-100 105 кг +насос для 2Z HVS-200 |
